[实用新型]一种气体流量传感器检测装置

说明书

技术领域

本实用新型属于传感器技术领域，尤其涉及一种气体流量传感器检测装置。

背景技术

理想的气体流量传感器应当具有良好的线性和一致性。但是，对于批量的气体流量传感器在相同输入可能存在输出不同的情况，特别是其在线性度，灵敏度，迟滞，重复性等参数上的不同将影响传感器的生产和使用。因此，一方面，在生产过程中需要检测出不合格的传感器；另一方面，在气体流量传感器成对或成组使用时，需要筛选出性能一致性好的传感器。因此，在气体流量传感器生产中和使用前，都需要对其性能进行参数测定。

针对批量传感器性能测定、不合格或一致性较好的传感器的快速筛选的需求，本实用新型给出了一种气体流量传感器性能快速测定装置和方法，能够快速测定代表气体流量传感器性能的参数，方法定义的性能参数能够替代传统的起点偏移，线性度，灵敏度，基本误差，重复误差等参数。

实用新型内容

为了克服现有技术中的不足，提出一种用于快速实现多个气体流量传感器性能参数测定的方法与装置，该装置将流量测量转化为速度 (距离)测量，通过主控制器控制伺服电机动作，电机通过推杆推动活塞运动产生气流，主控制器同步采集活塞速度信号与待测流量传感器输出，通过建立的模型计算得到待测气体流量传感器的性能参数。

本实用新型是通过如下技术方案实现的：

一种气体流量传感器检测装置，包括气腔，其特征在于，气腔内设有活塞，活塞上设有活塞推杆，活塞推杆上设有电机，电机通过电机控制器与主控制器连接；活塞推杆上还设有速度传感器，速度传感器与电机控制器连接，气腔上设有与大气连通的导管，待测流量传感器安装在导管上，待测流量传感器与主控制器连接。

进一步的改进，所述主控制器为计算机，工控机，PLC，数控系统或微处理器系统。

进一步的改进，所述气腔上设有位置传感器，位置传感器与主控制器连接。

进一步的改进，所述电机为伺服电机系统或步进电机系统。

进一步的改进，所述速度传感器为磁电、光电或光栅传感器。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

本实用新型的装置具有结构简单，本实用新型的检测方法具有人工干预小，成本低，速度快效率高的优点，适合用于大规模传感器检测和筛选。

附图说明

图1是气体流量传感器检测装置结构示意图；

图2是气体流量传感器测定实施流程图；

图3是任意一个气体流量传感器排气和吸气对应模型参数计算流程；

图4是产生任意一个气体流量传感器性能参数流程。

具体实施方式

实施例1

如图1所示的一种气体流量传感器检测装置，包括气腔6，其特征在于，气腔6内设有活塞7，活塞7上设有活塞推杆5，活塞推杆 5上设有电机4，电机4通过电机控制器2与主控制器1连接；活塞推杆5上还设有速度传感器3，速度传感器3与电机控制器2连接，气腔6上设有与大气连通的导管9，待测流量传感器8安装在导管9 上，待测流量传感器8与主控制器1连接。

所述主控制器1可选用计算机，工控机，PLC，数控系统或微处理器系统。

进一步的改进，所述气腔7上设有位置传感器10，位置传感器10 与主控制器1连接，用于检测活塞7复位情况

电机4包括配套的电机和电机驱动器，可选用伺服电机系统或步进电机系统。

速度传感器可选用磁电、光电或光栅传感器。

气体流量传感器测定实施流程图如图2所示：

初始化阶段：设置测试量程范围0～q_max(对应活塞运动速度为0～ V_max)，活塞运动加速度a以及减速加速度-a，测试重复次数n，设置主控制器采集光电编码器信号与待测定气体传感器的输出信号的采样率Fs；根据光电位置传感器和光电编码器信号，主控制器通过驱动器控制活塞回零；设置活塞计数值c＝0；