[实用新型]一种加速电子束流光学结构

权利要求书

1.一种加速电子束流光学结构，其特征在于，包括：

至少一个束流光学结构，每个所述束流光学结构均包括两个呈相对设置的法兰，两个所述法兰之间设置有通过绝缘机构以使彼此呈间隔排列的电极组；

其中，每个所述束流光学结构通过设置在其内的电极组，进而在束流光学结构内部电子束的传输方向上构成多个相互配合的聚焦区和散焦区，以实现对待传输电子束的聚集和加速。

2.如权利要求1所述的加速电子束流光学结构，其特征在于，所述电极组包括均布在电子束传输方向上的多个第一电极；

以及设置在各法兰内侧的第二电极；

其中，所述第一电极的内径大于第二电极的内径，进而在各束流光学结构的两端构成电子束传输方向上的Ⅰ聚焦区和Ⅵ散焦区。

3.如权利要求2所述的加速电子束流光学结构，其特征在于，所述电极组还包括：以可拆卸的方式并间隔预设距离设置在第一电极上的内电极组；

其中，所述内电极组被配置为具有一倾斜部，以通过切换不同的安装方向，在电子束传输方向上构成多个相互配合的聚焦区和散焦区。

4.如权利要求3所述的加速电子束流光学结构，其特征在于，所述内电极组包括：

分别设置在束流光学结构最外端的两个第一电极上，并呈镜像对称的第一内电极；

其中，所述第一内电极的倾斜部均被配置为朝向束流光学结构的两端，以使第一内电极内径最小的一端均向束流光学结构的中间延伸，进而对束流光学结构内部电场进行压缩，形成中间电场强，两端电场弱的分布，进一步在电子束传输方向上构成Ⅱ聚焦区和Ⅴ散焦区。

5.如权利要求4所述的加速电子束流光学结构，其特征在于，所述内电极组还包括：

分别设置在束流光学结构中心的两个第一电极上，并呈镜像对称的第二内电极；

其中，所述第二内电极的倾斜部均被配置为朝向束流光学结构的中心，以使第二内电极内径最小的一端均向束流光学结构的两端延伸，进而在电子束传输方向上构成Ⅲ聚焦区和Ⅳ散焦区。

6.如权利要求3所述的加速电子束流光学结构，其特征在于，所述内电极组中的各内电极均包括：

一倾斜部；

以及设置在所述倾斜部内径较小一端的延伸部。

7.如权利要求3所述的束流光学结构加速电子束流光学结构，其特征在于，所述内电极组中的各内电极的最小内径被配置为与第二电极的内径大小一致。

8.如权利要求3所述的加速电子束流光学结构，其特征在于，所述第一电极的个数被配置为14个，厚度为0.7-1.5mm，其内径大小被配置为70-90mm；

所述绝缘机构的个数被配置为15个，厚度为12-15mm，其两端电压被配置为4-10KV。

9.如权利要求3所述的加速电子束流光学结构，其特征在于，所述第二电极的内径大小被配置为40-60mm。

10.如权利要求3所述的加速电子束流光学结构，其特征在于，所述内电极组中的各内电极的最大内径与第一电极的内径大小一致。