[实用新型]铜铟镓硒真空蒸镀设备的滚轮辅助加热装置有效
申请号: | 201621466098.0 | 申请日: | 2016-12-29 |
公开(公告)号: | CN206273838U | 公开(公告)日: | 2017-06-23 |
发明(设计)人: | 任宇航;林峰;罗明新 | 申请(专利权)人: | 浙江尚越新能源开发有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/54;C23C14/26 |
代理公司: | 杭州华知专利事务所33235 | 代理人: | 龙湖浩 |
地址: | 311100 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 铜铟镓硒 真空 设备 滚轮 辅助 加热 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域,特别涉及铜铟镓硒真空蒸镀设备的滚轮辅助加热装置。
背景技术
太阳能电池又称为“太阳能芯片”或“光电池”,是一种利用太阳光直接发电的光电半导体薄片。它只要被光照到,通过光电效应或者光化学效应直接把光能转化成电能,瞬间就可输出电压及在有回路的情况下产生电流。太阳能电池的种类很多,其中铜铟镓硒(铜铟镓硒)薄膜太阳电池具有生产成本低、污染小、不衰退、弱光性能好等特点,光电转换效率居各种薄膜太阳能电池之首,接近晶体硅太阳电池,而成本则是晶体硅电池的三分之一,被国际上称为“下一时代非常有前途的新型薄膜太阳电池”。此外,该电池具有柔和、均匀的黑色外观,是对外观有较高要求场所的理想选择,如大型建筑物的玻璃幕墙等,在现代化高层建筑等领域有很大市场。
铜铟镓硒太阳能薄膜电池原材料在真空蒸镀设备中处理时,设备的基底加热板在加热过程中会产生大量的热量,温度在500-785摄氏度之间,不锈钢卷位于基板下方,在运动走卷的过程中,辅助滚轮与不锈钢卷相互接触,基底加热板温度热辐射于不锈钢卷上,但因为辅助滚轮不懈怠加热功能,相对辅助滚轮属于低温区,整个蒸发设备在加热共蒸的过程中腔体存在Cu、In、Ga、Se尘粒,因为基板和辅助滚的温度差,会沉积于辅助滚上,在走卷的过程中带入不锈钢卷背面产生凸点,影响工艺制卷的表面光洁度。
实用新型内容
本实用新型要解决现有技术的问题,提供一种铜铟镓硒真空蒸镀设备的滚轮辅助加热装置,达到防止Cu、In、Ga、Se尘粒堆积在滚轮上,使卷材表面光洁度高的目的。
为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案如下:
铜铟镓硒真空蒸镀设备的滚轮辅助加热装置,包括放卷机构和收卷机构,放卷机构和收卷机构之间设有若干滚轮,铜铟镓硒卷材通过滚轮走卷,每两根相邻的所述滚轮之间都设有基底加热板,基底加热板内设有U型加热管,设有对滚轮进行加热的辅助加热装置。通过U型加热管的加热,基底加热板温度较高,但其热量一般向上或向下辐射,向两侧滚轮辐射较少,因此一般情况下滚轮温度相对较低,但通过额外设置的辅助加热装置直接对滚轮加热,提高滚轮的温度。
优选的,所述辅助加热装置为较长的U型加热管a,设于滚轮与铜铟镓硒卷材接触面的相对侧。
优选的,所述辅助加热装置为较短的U型加热管b,设于滚轮与铜铟镓硒卷材接触面的两端。
优选的,所述辅助加热装置包括较长的U型加热管a(5)和较短的U型加热管b,U型加热管a设于滚轮与铜铟镓硒卷材接触面的相对侧, U型加热管b设于滚轮与铜铟镓硒卷材接触面的两端。
优选的,所述滚轮和基底加热板的排列方向呈向下凸起。
优选的,所述滚轮和基底加热板上方设有挡板。即隔绝设备内的蒸汽、热量,也避免外界的灰尘等杂物落入卷材而影响卷材质量。
本实用新型的有益效果在于:本实用新型采用的辅助加热装置对滚轮进行加热,避免了腔体中存在的Cu、In、Ga、Se尘粒因为基板和辅助滚的温度差而沉积于辅助滚上,使走卷的过程中铜铟镓硒卷材背面不会凸点,表面光洁度好。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是本实用新型实施方式一中辅助加热装置与滚轮的结构示意图。
图3是本实用新型实施方式二中辅助加热装置与滚轮的结构示意图。
图4是本实用新型实施方式三中辅助加热装置与滚轮的结构示意图。
为了使观察效果更佳,附图中未显示设备的挡板、支架等辅助结构。
图中:1、放卷机构;2、收卷机构;3、滚轮;4、基底加热板;5、U型加热管a;6、U型加热管b;7、铜铟镓硒卷材。
具体实施方式
下面通过具体实施方式和附图对本实用新型作进一步的说明。
实施方式一:结合图1和图2所示,铜铟镓硒真空蒸镀设备的滚轮辅助加热装置,包括放卷机构1和收卷机构2,放卷机构1和收卷机构2之间设有若干滚轮3,铜铟镓硒卷材7通过滚轮3走卷,每两根相邻的所述滚轮3之间都设有基底加热板4,基底加热板4内设有U型加热管,设有对滚轮3进行加热的辅助加热装置,辅助加热装置为较长的U型加热管a5,设于滚轮3与铜铟镓硒卷材7接触面的相对侧。
实施方式二:结合图1和图3所示,与实施方式一的区别在于,辅助加热装置为较短的U型加热管b6,设于滚轮3与铜铟镓硒卷材7接触面的两端。
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