[实用新型]传感器

说明书

技术领域

本实用新型涉及气体流量传感器技术领域，更具体而言，涉及一种传感器。

背景技术

天然气以及大多数工业气体中难免会含有粉尘、水汽、重烃油类等物质，随着气体的流动，这些物质会接触到流量芯片表面及流量测量芯片四周的测量敏感区域，进而附着或沉积在其表面，对其造成污染。长期以来，人们只认识到流量芯片表面的污染会对流量的测量造成一定的影响，对流量芯片周围的测量敏感区域的污染对流量测量的影响关注较少。然而，流量测量芯片周围敏感区域污染物的附着和堆积，会影响流经测量芯片气体的热特性以及流体分布状态，从而影响流量芯片测量的准确度。

实用新型内容

针对相关技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种能够对流量测量单元周围进行加热的传感器。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种传感器，包括：流量测量单元，以及至少部分围绕流量测量单元设置的加热装置。

根据本实用新型的一个实施例，沿着被测流体流向，在流量测量单元的上游和下游设置加热装置。

根据本实用新型的一个实施例，加热装置完全围绕流量测量单元。

根据本实用新型的一个实施例加热装置的长度b和流量测量单元的长度h的比例为：1.5≤b/h≤5。

根据本实用新型的一个实施例，流量测量单元和加热装置之间的距离c的范围为0-300um。

根据本实用新型的一个实施例，加热装置的宽度a的范围为1-3mm。

根据本实用新型的一个实施例，流量测量单元和加热装置设置在硅片载体3上。

根据本实用新型的一个实施例，硅片载体还包括对应于流量测量单元设置的第一镂空区域和/或对应于加热装置设置的第二镂空区域6。

根据本实用新型的一个实施例，加热装置的宽度a小于第二镂空区域的宽度d。

根据本实用新型的一个实施例，加热装置为电阻丝或加热膜。

本实用新型的有益技术效果在于：

本实用新型涉及的传感器，在流量测量单元周围设置有加热装置，以对流量测量单元周围进行加热，使得附着在流量测量单元周围的低沸点污染物发生蒸发或沸腾，形成较强烈的向上的对流气流，以带走流量测量单元周围的其他污染物，保持流量测量单元周围洁净，以确保流量测量单元测量的准确性。

附图说明

图1是根据本实用新型一个实施例传感器的示意图；

图2是图1所示实施例传感器的剖视图；

图3是根据本实用新型一个实施例传感器镂空区域的示意图；

图4是根据本实用新型一个实施例加热装置的布置示意图；

图5是根据本实用新型另一个实施例加热装置的布置示意图；

图6是根据本实用新型一个实施例加热装置的结构示意图，其中加热装置为电阻丝。

具体实施方式

以下将结合附图，对本实用新型的实施例进行详细描述。

如图1至图5所示，本实用新型一方面的实施例提供了一种传感器。该传感器包括用于测量流量的流量测量单元1，在流量测量单元1的周围还设置有加热装置8，其中，加热装置8至少部分围绕流量测量单元1。

上述实施例涉及的传感器，在流量测量单元1周围设置有加热装置8，以对流量测量单元1周围进行加热，使得附着在流量测量单元1周围的低沸点污染物发生蒸发或沸腾，形成较强烈的向上的对流气流，以带走流量测量单元1周围的其他污染物，保持流量测量单元周围洁净，以确保流量测量单元1测量的准确性。

根据本实用新型的一个实施例，加装装置8可以由铂或其合金制成。当然，根据具体情况，加热装置8也可以由其他升降温度较快的材料制成。应当理解的是，此处采用的材料可以是任意已知的材料，只需使得加热装置8需要加热时能够较快升高温度至需要的温度，当加热停止时温度能够较快恢复常温即可。

进一步地，加热装置8可以为加热丝。或者，在另一个实施例中，加热装置8也可以是加热膜。当然，可以想到的是，根据具体情况，加热装置8也可以同时包括加热丝和加热膜。例如，如图6所示，加热装置可以为电阻丝。

如图4所示，根据本实用新型的一个实施例，沿着被测流体流向，加热装置8可以设置在流量测量单元1的上游和下游。