[实用新型]任意反射表面速度干涉仪的探针光匀化系统

权利要求书

1.任意反射表面速度干涉仪的探针光匀化系统，包括光纤输出激光器；其特征在于：还包括准直镜头和缩束镜；所述准直镜头设置在光纤输出激光器的输出光路上，并且准直镜头的焦面位于光纤输出激光器的光纤端面处；所述缩束镜包括缩束镜前组和缩束镜后组；缩束镜前组设置在准直镜头的输出光路上；缩束镜后组设置在缩束镜前组的输出光路上，并且缩束镜前组和缩束镜后组的焦面重合，构成开普勒望远镜结构；

所述光纤端面的光纤芯径D₀、准直镜头的焦距f₁、缩束镜前组的焦距f₂和缩束镜后组的焦距f₃满足如下关系：

$\frac{f_2}{f_3}=\frac{2*f_1*tan\mathrm{\α}}{D_0}$

式中，α为所述光纤端面出射光束的出射半角；f₂>f₁>5mm；

匀化系统的出瞳位置即为匀化后的虚拟光纤端面，光纤输出激光器的光纤端面上每一点出射的光束经准直镜头和缩束镜均匀展开并层层叠加后从所述虚拟光纤端面输出。

2.根据权利要求1所述的任意反射表面速度干涉仪的探针光匀化系统，其特征在于：所述缩束镜前组和缩束镜后组的中间像面处设置有滤波孔。

3.根据权利要求2所述的任意反射表面速度干涉仪的探针光匀化系统，其特征在于：所述准直镜头上设置有光阑。