[实用新型]一种温度自补偿应变计

权利要求书

1.一种温度自补偿应变计，其特征在于：包括基底及基底上相互正交设置的四个电极和四个敏感栅，所述的四个敏感栅由四个尺寸相同、厚度均匀且各向同性的敏感栅箔材构成；所述的四个敏感栅相互连接构成Wheatstone电桥，电桥中两个相邻敏感栅构成一路电流通道，四个敏感栅相互连接构成四路电流通道；所述的四路电流通道分别与四个电极连接。

2.如权利要求1所述的温度自补偿应变计，其特征在于：所述的四个敏感栅均为正方形，并且相互连接组成正方形的形状。

3.如权利要求1所述的温度自补偿应变计，其特征在于：所述的四个敏感栅均为扇形，并且相互连接组成圆形的形状。

4.如权利要求1所述的温度自补偿应变计，其特征在于：所述的电极和敏感栅通过粘贴、溅射、沉积、离子注入或扩散的方式设置在所述的基底上。

5.一种温度自补偿应变计，其特征在于：包括基底及基底上设置的两层敏感栅，每层敏感栅含有两个敏感电阻，两层敏感栅间由一层绝缘层隔开；所述的四个敏感电阻的尺寸相同且由相同的敏感栅箔材制成；所述的两层敏感栅交错90°叠加，并且在空间上能够完全重合。

6.一种温度自补偿应变计，其特征在于：包括基底及基底上设置的四层敏感栅，每层敏感栅含有一个敏感电阻，每两层敏感栅之间由一层绝缘层隔开；所述的四个敏感电阻的尺寸相同且由相同的敏感栅箔材制成；所述的四层敏感栅交错90°叠加，并且在空间上能够完全重合。

7.如权利要求1至6中任一所述的一种温度自补偿应变计，其特征在于：所述的敏感栅箔材为金属应变电阻合金。

8.如权利要求1至6中任一所述的一种温度自补偿应变计，其特征在于：所述的敏感栅箔材为半导体材料或金属氧化物。