[实用新型]参考镜精确调节机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及干涉测量领域，更具体地说，它涉及一种参考镜精确调节机构。

背景技术

干涉测量是通过两束相干光之间的相干特性产生的光程差产生的明亮条纹来测量高度数据的一种方法；光通过分光棱镜分为两束光，经过反射参考镜以及样品返回的光之间的光程差形成干涉条纹；而参考镜的角度的调整精度直接决定了测量的准确性及可靠性。

但参考镜调节大多是通过手动的方式进行的、而现有自动调节通常采用压电陶瓷调节角度方式，成本较高，且断电后会恢复初始位置；需要时刻进行保持电压。而使用步进电机进行移位的成为了较为可行的一个办法，但步进电机移动的震动和偏移量会导致轴心的偏移、角度调节也并不精确，无法满足实际的使用需求。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种参考镜精确调节机构，能够大大降低参考镜自动调节结构成本并提升干涉测量的稳定性和准确性。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：一种参考镜精确调节机构，其特征是：包括调节支架，调节支架设置绕X轴旋转的X轴向偏摆件，所述调节支架与X轴向偏摆件之间通过转轴组件相互旋转连接，所述的调节支架设有驱动X轴向偏摆件转动的X轴驱动电机；所述的X轴向偏摆件设有绕Y轴旋转的Y轴向偏摆件，在X轴向偏摆件上设有驱动Y轴向偏摆件转动的Y轴驱动电机，所述的Y轴驱动电机与X轴驱动电机均为直线往复步进电机，所述X轴向偏摆件的旋转轴线以及Y轴向偏转的旋转轴线穿过参考镜的中心。

通过采用上述技术方案，调节支架上的X轴向偏摆件绕X轴旋转，设置与X轴向偏摆件上的Y轴向偏摆件绕Y轴偏摆，通过X轴向偏摆件与Y轴向偏摆件的相互作用，从而控制参考镜实现各个方位的调节，X轴驱动电机与Y轴驱动电机均为直线往复步进电机，直线往复电机的主轴在伸缩的时候，震动较小；X轴驱动电机与Y轴驱动电机的主轴只起推动的推的作用，在电机主轴伸出的时候，X轴向偏摆件或Y轴向偏摆件被推动而旋转，而电机主轴缩回的的时候，通过弹簧的弹力实现复位，由于有弹簧的作用，使电机主轴的端部始终与被推动X轴向偏摆件或Y轴向偏摆件保持紧贴，并且也消除了电机主轴内部所存在的间隙，增加参考镜调节的精度，采用直线往复步进电机作为驱动元件，其成本较低，震动小，可以增加参考镜的调节精度；X轴向偏摆件的旋转中心以及Y轴向偏摆件的旋转中心均经过参考镜的几何中心，直线往复步进电机在运行中所产生的震动传递至参考镜处的振幅会非常的小，可以有效减少了参考镜的震动，。

本实用新型进一步设置为：所述的Y轴驱动电机以及X轴驱动电机的主轴端部均固定有套筒，在套筒的端部设置了滚动体。

通过采用上述技术方案，X轴驱动电机推动X轴向偏摆件运动的过程中，电机的主轴会与X轴向偏摆件接触，并且转轴端部与X轴向偏摆件之间会有相对的位移，在电机的主轴上设置了滚动体之后，在两者相互位移的过程中，更加的平顺，减少了X轴向偏摆件转动过程中的震动。

本实用新型进一步设置为：所述旋转组件包括第一转轴与第二转轴，所述的第一转轴的一端设置有螺帽，另一端设置有螺纹以及与螺纹部分啮合的锁紧螺母，所述的第一转轴与第二转轴同轴设置，所述的第一转轴或第二转轴通过转轴固定机构与调节支架或X轴向偏摆件固定。

通过采用上述技术方案，X轴向偏摆件或Y轴向偏摆件的通过同轴设置的第一转轴与第二转轴实现旋转连接，这样可以保持X轴向偏摆件或Y轴向偏摆件旋转过程中具有更好同轴性，使参考镜调节的过程更加的稳定；第一转轴的一端设置螺帽另一端设置螺纹，通过锁紧螺母锁紧X轴向偏摆件和调节支架，这样可以有效地防止X轴向偏摆件在X轴线方向上位移，使X轴向偏摆件仅绕X轴旋转，增加参考镜角度调剂的精准度；同理X轴向偏摆件与Y轴向偏摆件的结构也相同，最终增加参考镜角度调节的准确性。

本实用新型进一步设置为：所述第第一转轴带螺帽的一端套设有弹性垫片。

通过采用上述技术方案，设置弹性垫片用于更好的消除X轴向偏摆件与调节支架之间的间隙，或者消除X轴向偏摆件与Y轴向偏摆件之间的间隙，增加参考镜角度调节的准确性。

本实用新型进一步设置为：所述的转轴固定机构包括用于安装第一转轴或第二转轴的轴孔，沿轴孔径向设置开槽，所述的开槽穿设有锁紧螺钉。