[实用新型]坩埚装置有效
申请号: | 201621493497.6 | 申请日: | 2016-12-30 |
公开(公告)号: | CN206521536U | 公开(公告)日: | 2017-09-26 |
发明(设计)人: | 杨翠柏;方聪;陈丙振;杨光辉 | 申请(专利权)人: | 珠海鼎泰芯源晶体有限公司 |
主分类号: | C30B23/00 | 分类号: | C30B23/00;C30B29/36 |
代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司11327 | 代理人: | 陈英俊,杨桦 |
地址: | 519085 广东省珠海市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 坩埚 装置 | ||
1.一种坩埚装置,其特征在于,包括:
坩埚本体,呈桶形,具有桶底、桶壁和顶部开口,其中所述桶底和桶壁围成用于盛放物料的容置空间;
坩埚盖,盖设于所述坩埚本体的顶部开口,所述坩埚盖具有朝向所述桶底的内表面和背离所述桶底的外表面;
至少一个感应环,其同心设置于所述坩埚盖内并靠近所述坩埚的所述内表面,并且所述至少一个感应环的中心与所述坩埚盖的中心在同一条直线上。
2.如权利要求1所述的坩埚装置,其特征在于,所述感应环的数量为多个,在沿着由所述坩埚盖的中心向外周方向上,多个所述感应环中相邻两个所述感应环之间的距离逐渐变大;或者相邻两个所述感应环之间的距离相等。
3.如权利要求1所述的坩埚装置,其特征在于,所述至少一个感应环埋设在所述坩埚盖内或者固定于坩埚盖的内表面上。
4.如权利要求1所述的坩埚装置,其特征在于,所述坩埚盖的内表面的外周设有内凸环;和/或所述坩埚盖的外表面的外周设有外凸环。
5.如权利要求1-4任一项所述的坩埚装置,其特征在于,所述坩埚盖内至少在中央区域设有中空部,所述中空部位于所述坩埚盖的内表面和外表面之间,所述至少一个感应环设置于所述坩埚盖内。
6.如权利要求5所述的坩埚装置,其特征在于,所述中空部呈圆盘形,且其圆心在所述坩埚盖的中心线上。
7.如权利要求5所述的坩埚装置,其特征在于,所述坩埚盖呈圆盘形,所述坩埚盖与所述中空部的半径之差为1.5~3.5厘米;和/或所述坩埚盖的内表面与所述中空部之间的厚度为5~20毫米。
8.如权利要求7所述的坩埚装置,其特征在于,所述坩埚盖的内表面与所述中空部之间的厚度为1.63~2.93毫米;和/或所述坩埚盖的内表面与所述中空部之间的厚度为6~16毫米。
9.如权利要求5所述的坩埚装置,其特征在于,所述中空部内填充有导热系数高于所述坩埚盖的填充物。
10.如权利要求9所述的坩埚装置,其特征在于,所述坩埚本体和/或所述坩埚盖由石墨制成,和/或所述填充物由石墨烯制成。
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