[实用新型]硅片自动去毛边装置有效
| 申请号： | 201621494302.X | 申请日： | 2016-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN206326465U | 公开（公告）日： | 2017-07-14 |
| 发明（设计）人： | 孙铁囤;姚伟忠;汤平 | 申请（专利权）人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/06 | 分类号： | B24B9/06;B24B41/00;B24B41/02;B24B41/06;B24B47/12 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258 | 代理人： | 郑云 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 自动 毛边 装置 | ||
1.一种硅片自动去毛边装置，其特征在于：包括机架(1)及转动设置在机架(1)上的工作平台(2)，所述机架(1)上设有用于驱动工作平台(2)转动的第一电机(3)，所述机架(1)上设有用于去毛边的刀头(4)，所述机架(1)上设有用于带动刀头(4)靠近或者远离工作平台(2)的第一气缸(5)，所述机架(1)上滑动设置有滑板(6)，所述滑板(6)位于所述工作平台(2)上方，所述机架(1)上设有用于驱动滑板(6)滑动的驱动装置，所述滑板(6)上沿其滑动方向设有第一拉杆(7)和第二拉杆(8)，所述第一拉杆(7)的一端转动设有压板(9)，所述第二拉杆(8)的一端设有吸盘(10)，所述第二拉杆(8)上设有吸气泵(11)，所述吸气泵(11)与所述吸盘(10)连通，所述吸盘(10)与压板(9)均位于所述工作平台(2)的上方，所述滑板(6)上设有伸出端朝下的第二气缸(12)，所述第一拉杆(7)和第二拉杆(8)均设置在所述第二气缸(12)的伸出端上。
2.根据权利要求1所述的硅片自动去毛边装置，其特征在于：所述驱动装置包括设置在机架(1)上的第二电机(13)，所述机架(1)上设有导轨(14)，所述导轨(14)上滑动设置有导向块(15)，所述导向块(15)设置在所述滑板(6)上，所述机架(1)上转动设置有丝杠(16)，所述丝杠(16)与所述导向块(15)螺纹连接，所述丝杠(16)与所述导轨(14)相互平行设置。
3.根据权利要求1所述的硅片自动去毛边装置，其特征在于：所述第二气缸(12)的伸出端上设有连杆(17)，所述第一拉杆(7)设置在连杆(17)的一端，所述第二拉杆(8)设置在连杆(17)的另一端，所述滑板(6)上开设有与所述第一拉杆(7)相匹配的第一通孔，所述滑板(6)上开设有与所述第二拉杆(8)相匹配的第二通孔，所述第一拉杆(7)远离压板(9)的一端滑动设置在所述第一通孔内，所述第二拉杆(8)远离吸盘(10)的一端滑动设置在所述第二通孔内。
4.根据权利要求1所述的硅片自动去毛边装置，其特征在于：所述机架(1)与所述工作平台(2)之间设有万向滚珠(18)。
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