[外观设计]基板处理装置用绝热件有效
| 申请号： | 201630047824.4 | 申请日： | 2016-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN303912725S | 公开（公告）日： | 2016-11-16 |
| 发明（设计）人： | 立野秀人;原大介 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立国际电气 |
| 主分类号： | 15-99 | 分类号： | 15-99 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 处理 装置 绝热 | ||
【说明书】：
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