[外观设计]用于化学气相沉积的自对中晶片承载系统有效
| 申请号： | 201630149552.9 | 申请日： | 2016-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN303988327S | 公开（公告）日： | 2016-12-28 |
| 发明（设计）人： | S·克里士南;A·I·古拉雷;张正宏;E·马塞罗 | 申请（专利权）人： | 维易科精密仪器国际贸易(上海)有限公司 |
| 主分类号： | 15-99 | 分类号： | 15-99 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 贾金岩 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 化学 沉积 晶片 承载 系统 | ||
【说明书】：
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