[外观设计]多靶磁控溅射镀膜机有效
| 申请号： | 201630178922.1 | 申请日： | 2016-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN303959837S | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 龚俊;佘鹏程;陈庆广;胡凡 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | 15-99 | 分类号： | 15-99 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙)43008 | 代理人： | 周长清;厉田 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁控溅射 镀膜 | ||
【权利要求书】：
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