[发明专利]玻璃基板的制造方法

说明书

本发明的目的在于提供一种能够使玻璃基板表面的清洁性有效率地提高的玻璃基板的制造方法。本发明的玻璃基板的制造方法具备：切断步骤，切断玻璃基板；端面加工步骤，对在切断步骤中被切断的玻璃基板的切断面也即是切断端面进行加工；以及表面处理步骤，对在切断步骤中被切断的玻璃基板的主表面进行处理。端面加工步骤是一边对切断端面供给研削液一边加工切断端面的形状。表面处理步骤是将pH值小于10的碱性液剂涂布在主表面，并且与端面加工步骤同时进行。

技术领域

本发明涉及一种玻璃基板的制造方法。

背景技术

用于液晶显示器及等离子体显示器等平板显示器(FPD，Flat Panel Display)的玻璃基板的表面被要求高平坦度。通常，这种玻璃基板是通过溢流下拉法而制造。关于溢流下拉法，如专利文献1(美国专利第3,338,696号)所记载，流入到成形体的上表面的槽且从槽溢出的熔融玻璃沿着成形体的两个侧面流下，在成形体的下端合流而成形玻璃带。所成形的玻璃带一边被向下方拉伸一边被缓冷。经冷却的玻璃带被切断成特定的尺寸，从而获得玻璃基板。

之后，进行对玻璃基板的切断面加以研削及研磨的端面加工。在玻璃基板的端面加工中，有从端面产生玻璃的微小碎片也就是玻璃屑，并附着在玻璃基板表面的情况。附着在玻璃基板表面的玻璃屑会导致形成于表面的TFT(thin-film transistor，薄膜晶体管)配线等的断线及剥离，所以优选为从表面尽可能地去除玻璃屑。专利文献2(日本专利特开2008-87135号公报)中，公开了如下方法：通过使水从玻璃基板表面的中央部向端面侧以帘幕状喷出，而抑制在端面加工时产生的玻璃屑附着于玻璃基板表面。

发明内容

[发明要解决的问题]

然而，该方法虽然能够抑制玻璃屑附着在端面附近的表面，但有无法充分地抑制玻璃屑附着在表面的中央部的担忧。而且，由于使水向玻璃基板的表面喷出，因此有在端面加工中玻璃基板的端面振动而导致端面加工的精度降低的担忧。

而且，近年来，玻璃基板的大型化及薄型化进展，将一边尺寸超出2000mm的大型玻璃基板作为高精细显示器用的玻璃基板而制造。在高精细显示器用的玻璃基板的表面，形成比以往更细线化及高密度化的TFT配线电极的图案，因此即便是以往的显示器用玻璃基板中并未视作问题的程度的微小的玻璃屑附着于表面，也会有对产品的品质产生问题的担忧。而且，大型玻璃基板的制造步骤中，为了提高生产性而必须对玻璃基板的端面以高速进行加工，因此在端面加工时会产生玻璃屑且易飞散。这样一来，对高精细显示器用的大型玻璃基板的表面要求高清洁性，所以在玻璃基板的制造步骤中需要有将附着于玻璃基板表面的玻璃屑有效率地除去的方法。

因此，本发明的目的在于提供一种能够有效率地提高玻璃基板表面的清洁性的玻璃基板的制造方法。

[解决问题的技术手段]

本发明的玻璃基板的制造方法具备：切断步骤，切断玻璃基板；端面加工步骤，对在切断步骤中被切断的玻璃基板的切断面也就是切断端面进行加工；以及表面处理步骤，对在切断步骤中被切断的玻璃基板的主表面进行处理。端面加工步骤是一边对切断端面供给研削液一边加工切断端面的形状。表面处理步骤是将pH值小于10的碱性液剂涂布在主表面，并且与端面加工步骤同时进行。

而且，优选为，碱性液剂包含表面活性剂。

而且，优选为，研削液为碱性液剂，且以在20℃下具有30mN/m～50mN/m的表面张力的方式调整表面活性剂的含量。

而且，优选为，玻璃基板的制造方法在表面处理步骤的后，还包含使用与碱性液剂不同的清洗液来清洗玻璃基板的清洗步骤。

而且，优选为，玻璃基板是含有SiO₂为50质量％～70质量％且含有Al₂O₃为10质量％～25质量％的铝硅酸盐玻璃或碱铝硅酸盐玻璃。