[发明专利]基于气体团簇离子束技术的中性射束处理方法以及由此产生的物品有效
| 申请号： | 201680000895.6 | 申请日： | 2016-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN106164326B | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 肖恩·R·柯克帕特里克;理查德·C·什夫卢加 | 申请（专利权）人： | 艾克索乔纳斯公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 杨帆 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 气体 离子束 技术 中性 处理 方法 以及 由此 产生 物品 | ||
【权利要求书】：
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