[发明专利]衍射光学元件

权利要求书

1.一种衍射光学元件，该衍射光学元件具有多个剖面为锯齿形状的环形部，其特征在于，

一个衍射面具有闪耀波长为第一波长的第一衍射区域、及与该第一衍射区域相邻且闪耀波长为第二波长的第二衍射区域，所述第一波长与所述第二波长为不同的波长，

在可见光区域，在包含其中心波长的80％的波长范围，高阶的波前像差成分为0.011λrms以上0.063λrms以下，

所述高阶的波前像差成分为泽尼克展开至37项时，用这些项展开不了的成分。

2.根据权利要求1所述的衍射光学元件，其中，所述衍射光学元件满足下述式(1)，

0.2<(λ2-λ1)/(λmax-λmin)<0.7…(1)

上述式(1)中，λmin为可见光区域的最小波长，λmax为可见光区域的最大波长，λ1为所述第一波长，λ2为所述第二波长，且λ2>λ1。

3.根据权利要求1或2所述的衍射光学元件，其中，所述衍射面具有包含一个以上的环形部的衍射区域。

4.根据权利要求1或2所述的衍射光学元件，其中，所述衍射面具有包含多个衍射区域的环形部。