[发明专利]光半导体装置

说明书

一种光半导体装置，构成为具备：振荡波长不同的多个半导体激光元件；和阵列波导路衍射光栅，其将从多个半导体激光元件射出的激光汇合到同一点，来自属于第1组的半导体激光元件的激光，在阵列波导路衍射光栅内通过第1衍射次数的衍射而被汇合到同一点，来自属于第2组的半导体激光元件的激光，在阵列波导路衍射光栅内通过与第1衍射次数不同的第2衍射次数的衍射而被汇合到同一点。

技术领域

本发明涉及光半导体装置。

背景技术

作为用于例如DWDM(Dense Wavelength Division Multiplexing，密集波分复用)光通信等的波长可变光源，已知集成了振荡波长不同的多个半导体激光元件的光半导体装置。在这种集成了多个半导体激光元件的光半导体装置中，一般来说，光汇合单元和半导体激光元件被集成在同一基板上，通过该光汇合单元使从多个半导体激光元件输出的激光汇合，汇合后的激光从光半导体装置输出。

此时，若假设集成于光半导体装置的光汇合单元是多模干涉型(MMI：Multi ModeInterferometer)的光汇合器等、无波长选择性的光汇合单元，则相对于半导体激光元件的输出光强度的光半导体装置的输出光强度，成为所集成的半导体激光元件的个数分之一以下，损耗变大。

因此，为了降低该损耗来提高元件的输出效率，已知一种使用了阵列波导路衍射光栅(AWG：Arrayed Waveguide Grating)作为光汇合手段的光半导体装置(例如参照专利文献1)。AWG具有输入侧平板波导路、阵列波导路和输出侧平板波导路，利用阵列波导路的光路差所引起的衍射现象，发挥与衍射光栅同样的作用。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2008-282937号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，在将AWG与波长不同的多个半导体激光元件组合使用的情况下，AWG的损耗特性与半导体激光元件的增益特性相乘，因此存在频带端部的激光的高输出化困难这样的问题。

AWG具有中心波长下的损耗(耦合损耗)最低，越远离中心波长则损耗越大这样的特性。另一方面，半导体激光元件的活性层的增益，通常被设计为中心波长附近最大，因此越远离中心波长则增益越小。结果，成为如下状况，即，尽管频带端部的半导体激光元件的活性层的增益较小，但频带端部的激光在AWG中的损耗也较大。结果，对于现有技术的方法而言，在要使作为光半导体装置的输出高输出化的情况下，不利的条件被组合的频带端部的输出限度会制约频带整体的输出。

本发明鉴于上述情况而作，其目的在于，提供一种抑制了光输出的波长依赖性的光半导体装置。

解决课题的手段

为了解决上述课题，达成目的，本发明的一方式所涉及的光半导体装置，具备：阵列波导路衍射光栅，其与所述多个半导体激光元件连接，且将从所述多个半导体激光元件射出的激光汇合到同一点，所述光半导体装置的特征在于，所述多个半导体激光元件至少被分为第1组和第2组，所述阵列波导路衍射光栅构成为：来自属于所述第1组的半导体激光元件的激光，在所述阵列波导路衍射光栅内通过第1衍射次数的衍射而被汇合到所述同一点，来自属于所述第2组的半导体激光元件的激光，在所述阵列波导路衍射光栅内通过与所述第1衍射次数不同的第2衍射次数的衍射而被汇合到所述同一点，并且所述阵列波导路衍射光栅与所述第1以及第2组的半导体激光元件连接。