[发明专利]夹具用电解剥离剂

权利要求书

1.一种夹具用电解剥离剂，其用于除去钯，且含有下述(A)～(E)成分：

(A)选自硝酸及其盐中的至少一种，

(B)选自氨、铵盐、亚乙基胺化合物、烷基二胺化合物及氨基酸中的至少一种，

(C)溴化物，

(D)铜离子，

(E)氧化剂，

所述(D)铜离子为使铜化合物溶解于夹具用电解剥离剂而形成的铜离子，所述(D)铜离子在夹具用电解剥离剂中的含量为0.01g/L～100g/L，

所述(E)氧化剂选自过硫酸盐、卤素含氧酸、卤素含氧酸盐、三氧化铬、铬酸盐、高锰酸盐、过氧化氢中的至少一种。

2.根据权利要求1所述的夹具用电解剥离剂，其中，

所述铜化合物为选自硫酸铜、氯化铜、溴化铜、碘化铜、乙酸铜、硝酸铜和氧化铜中的至少一种。

3.一种钯除去方法，其特征在于，使含有下述(A)～(C)成分的夹具用电解剥离剂与附着有钯的被处理物接触，

(A)选自硝酸及其盐中的至少一种，

(B)选自氨、铵盐、亚乙基胺化合物、烷基二胺化合物及氨基酸中的至少一种，

(C)溴化物。

4.根据权利要求3所述的钯除去方法，其中，使阴极和作为被处理物的阳极与夹具用电解剥离剂接触而进行电解剥离。

5.根据权利要求4所述的钯除去方法，其中，阴极被隔膜隔离。

6.根据权利要求3～5中任一项所述的钯除去方法，其中，对夹具用电解剥离剂进行空气搅拌。

7.一种抑制钯的浓度的方法，其通过进行权利要求3～6中任一项所述的钯除去方法而抑制蓄积在含有三氧化铬的酸性蚀刻液中的钯的浓度。

8.一种抑制钯的浓度的方法，其通过进行权利要求3～6中任一项所述的钯除去方法而抑制蓄积在含有锰的酸性蚀刻液中的钯的浓度。