[发明专利]复合基板及压电基板的厚度趋势推定方法

权利要求书

1.一种复合基板，其包括：

直径2英寸以上的支撑基板、和

压电基板，所述压电基板的厚度为20μm以下且透光，并接合于所述支撑基板，

其中，

所述压电基板具有条纹状的厚度分布，

在沿着与所述条纹正交的线切割所述复合基板而得到的截面处的、所述压电基板的厚度分布中，出现厚度方向的振幅为5nm～100nm且宽度方向的间距为0.5mm～20mm的波形，该波形的间距与所述条纹的宽度相关。

2.根据权利要求1所述的复合基板，其中，

所述压电基板中，所述条纹为平行的条纹。

3.根据权利要求1所述的复合基板，其中，

所述压电基板中，所述条纹为旋涡状或同心圆状的条纹。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的复合基板，其中，

所述压电基板的、厚度的最大值与最小值的差值在整个平面中为100nm以下。

5.根据权利要求1～3中的任一项所述的复合基板，其中，

所述压电基板通过直接接合而接合于所述支撑基板。

6.根据权利要求4所述的复合基板，其中，

所述压电基板通过直接接合而接合于所述支撑基板。

7.一种压电基板的厚度趋势推定方法，其是对权利要求1～6中的任一项所述的复合基板中的压电基板的厚度趋势进行推定的方法，其中，

对复合基板的所述压电基板照射单色光，

判定是否出现与所述条纹状的厚度分布所产生的第一干涉条纹不同的第二干涉条纹，

在判定为出现所述第二干涉条纹的情况下，根据所述第一干涉条纹的明线与所述第二干涉条纹的暗线交叉的交叉部分的形状，基于以下基准来判定所述压电基板的厚度趋势：如果在所述交叉部分的所述第一干涉条纹的明线为凹状，则朝向凹下的方向，厚度变厚，如果在所述交叉部分的第一干涉条纹的明线为凸状，则朝向突出的方向，厚度变厚；在判定为没有出现所述第二干涉条纹的情况下，判定为对于所述压电基板的厚度没有观察到趋势。