[发明专利]光波导元件

权利要求书

1.一种光波导元件，其具备：

基板，具有电光效应；

光波导，形成于该基板且具有多个马赫-曾德尔光波导部；及

控制电极，用于控制在该光波导内传播的光波，且具有信号电极及接地电极，

所述光波导元件的特征在于，

该信号电极具有多个与各马赫-曾德尔光波导部对应地配置的信号电极，各信号电极区分为控制在该光波导内传播的光波的作用部和连接于该作用部的配线部，

该配线部在该光波导上配置该配线部的交叉部分具有狭窄部，在所述狭窄部中，该配线部的宽度比该交叉部分的前后的配线部的宽度窄，

隔着该狭窄部的该接地电极的间隔与在该狭窄部的前后隔着该信号电极的该接地电极的间隔相同。

2.根据权利要求1所述的光波导元件，其特征在于，

该狭窄部的宽度为该交叉部分的前后的配线部的宽度的0.75倍以下。

3.根据权利要求1所述的光波导元件，其特征在于，

该狭窄部的长度为在该光波导内传播的光波的模场直径的1.5倍以上。

4.根据权利要求1所述的光波导元件，其特征在于，

该配线部的宽度朝向该狭窄部逐渐变窄。

5.根据权利要求1所述的光波导元件，其特征在于，

在该交叉部分中，该配线部的中心线与该光波导的中心线交叉的角度为45度以上且90度以下。