[发明专利]阴极组件

权利要求书

1.一种阴极组件，用于溅射装置，所述阴极组件具有：绝缘材质的靶；与该靶的一面接合的背板；以及以背板的靶侧为下，与比靶的外周端更向外延伸的背板下侧的延展部相对设置的环形遮蔽板，其特征在于：

背板具有相对于延展部凸出设置的接合部，使遮蔽板的内周边部位于在靶已接合在该接合部上的状态下从接合部向外探出的靶的探出部和背板的延展部之间的间隙中。

2.根据权利要求1所述的阴极组件，其特征在于：

所述遮蔽板可分为多个部分。

3.根据权利要求1或2所述的阴极组件，其特征在于：

所述靶的探出部和遮蔽板重叠相对的部分的长度在所述靶的厚度以上。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的阴极组件，其特征在于：

所述遮蔽板的内周边部在所述间隙中位于相比所述靶的探出部的中间点更靠近所述接合部侧的位置上。

5.根据权利要求1～3中的任意一项所述的阴极组件，其特征在于：

所述遮蔽板和所述背板之间的间隙长度以及所述遮蔽板和所述靶之间的间隙长度分别设定为在0.5mm～2mm的范围内。