[发明专利]静电卡盘加热器

说明书

一种静电卡盘加热器(20)，其具备静电卡盘(22)、片状加热器(30)和支撑台(60)。静电卡盘(22)是在陶瓷烧结体(26)中埋设静电电极(24)而成的。片状加热器(30)是具有多个修正加热电极(34)和多个基准加热电极(44)的树脂片(32)。该片状加热器(30)的一面与静电卡盘(22)树脂粘接，另一面与金属制的支撑台(60)树脂粘接。

技术领域

本发明涉及静电卡盘加热器。

背景技术

作为静电卡盘加热器，已知有在陶瓷烧结体中埋设静电电极和加热电极而成的基板上，介由接合材接合由铝等金属制成的支撑台这样的静电卡盘加热器(专利文献1参照)。这样的静电卡盘加热器通过将下述层叠体进行预烧后，进行热压煅烧来制作，该层叠体是将在一面上印刷了加热电极用糊剂的第一成形体、两面上都没有进行印刷的第二成形体、以及在一面上印刷了静电电极用糊剂的第三成形体以夹着各印刷面的方式进行层叠而成的。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-229310号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是，在将具备静电电极和加热电极的层叠体一体烧成的情况下，由于烧成时加热电极发生变形、或加热电极表面与周围的成分发生反应而导致电阻值发生变化等，因而有可能无法实现高均热性。

本发明是为了解决上述课题而完成的，其主要目的在于实现高均热性。

用于解决课题的方法

本发明的静电卡盘加热器具备：

静电卡盘，其在陶瓷烧结体中埋设有静电电极而成，

片状加热器，其是具有1个或多个加热电极的树脂片，该片状加热器的一面与所述静电卡盘树脂粘接，以及

金属制的支撑台，其与所述片状加热器的另一面树脂粘接。

该静电卡盘加热器中，片状加热器的一面与陶瓷烧结体树脂粘接，另一面与支撑台树脂粘接。由于可以不将加热电极暴露于陶瓷的烧成温度而制造该静电卡盘加热器，因而加热电极不会因热而发生变形，也不会与周围的成分反应而导致电阻值变化。因此，易于将加热电极的电阻值设定为目标电阻值，能够实现高均热性。

本发明的静电卡盘加热器中，所述片状加热器具有与所述片状加热器的表面平行且高度不同的第一电极区域和第二电极区域，所述第一电极区域是配置有多个加热电极的区域，所述第二电极区域是配置有分别向所述多个加热电极供电的多个跳线的区域，所述跳线中的与连接至所述加热电极的一端相反一侧的另一端配置在所述片状加热器的外周侧的预定位置。若这样构成，则可以各别地控制向各加热电极供给的电力，从而易于实现高均热性。需说明的是，“平行”中，除了完全平行的情况以外，即使不完全平行也允许制造上的误差、公差等。

这种情况下，所述多个跳线分别与设置在所述片状加热器的另一面(与支撑台树脂粘接的面)上的多个跳线连接盘电连接，所述多个跳线连接盘还可以面对设置在所述支撑台上的贯通孔。如果这样构成，则由于跳线连接盘从支撑台的背面露出，因而能够容易地将跳线连接盘与外部电源连接。

此外，还可以将所述多个跳线连接盘以2个以上为一组的方式分为多个组，属于各组的所述跳线连接盘面对共用的所述贯通孔，介由插入到该贯通孔的一个柔性金属导线集合体而与外部电源电连接。如果这样构成，则无需对每一个跳线连接盘都准备一根金属配线，因此能够简化将跳线连接盘与外部电源连接的作业。此外，由于使用柔性金属导线集合体，因此金属导线集合体能够吸收跳线连接盘与金属导线集合体之间的应力。