[发明专利]压电膜以及压电振子有效
| 申请号： | 201680004869.0 | 申请日： | 2016-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN107112977B | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 会田康弘;梅田圭一 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24;C23C14/06;H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 舒艳君;李洋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电 以及 | ||
1.一种压电膜，含有：
AlN结晶；
至少一种第一元素，其在上述AlN结晶中与Al进行置换；以及
第二元素，其具有比上述第一元素的离子半径小且比Al的离子半径大的离子半径，该第二元素被添加到上述AlN结晶，
上述第一元素是Sc，在上述压电膜中上述Sc的原子数相对于上述Al的原子数与上述Sc的原子数的总量，所占的比例在0.03以上0.50以下，
上述第二元素的配位数限定为4。
2.根据权利要求1所述的压电膜，其中，
上述第二元素作为三价阳离子而存在。
3.根据权利要求1或2所述的压电膜，其中，
上述第二元素是从W、Zr、Fe、Ta、Cr、Ti以及Ni中选择的至少一种元素。
4.根据权利要求1所述的压电膜，其中，
在上述压电膜中上述第二元素的原子数相对于上述Al的原子数与上述第一元素的原子数的总量的比率在0.01at％以上1.00at％以下。
5.一种压电振子，具备：
压电膜；和
夹着上述压电膜的一对电极，
上述压电膜含有：
AlN结晶；
至少一种第一元素，其在上述AlN结晶中与Al进行置换；以及
第二元素，其具有比上述第一元素的离子半径小且比Al的离子半径大的离子半径，该第二元素被添加到上述AlN结晶，
上述第一元素是Sc，在上述压电膜中上述Sc的原子数相对于上述Al的原子数与上述Sc的原子数的总量，所占的比例在0.03以上0.50以下，
上述第二元素的配位数限定为4。
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