[发明专利]用于激光扫描器系统的光学布置

权利要求书

1.一种用于激光扫描器系统的光学布置，包括：

显微镜物镜，

具有小于70mm的焦距的第一透镜组，

具有小于20mm的焦距的第二透镜组(45)，以及

其中，所述第一透镜组被布置在所述显微镜物镜(41)和所述第二透镜组(45)之间，其中，所述第二透镜组(45)被配置为接收来自扫描器设备的光，其中，所述扫描器设备位于所述显微镜物镜(41)的出射光瞳(42)的共轭平面中，

其特征在于，还包括用于提供第一光束路径和第二光束路径的分束器元件(100)，其中，所述第一光束路径包括在对象的位置(60)与所述扫描器设备的位置之间的光束路径，并且其中，所述第二光束路径包括在所述对象的所述位置(60)与相机设备(102)之间的光束路径，其中，所述分束器元件(100)被提供在所述第一透镜组和第三透镜组之间，所述第三透镜组被布置在所述第一透镜组和所述第二透镜组之间。

2.如权利要求1所述的光学布置，其中，所述光学布置的总体长度小于150mm。

3.如权利要求1或2所述的光学布置，其中，所述光学布置还包括用于至少部分地校正所述分束器元件(100)的光学像差的校正元件(101)。

4.如权利要求1或2所述的光学布置，其中，通过所述分束器元件(100)的所述第一光束路径是有角度的，并且通过所述分束器元件(100)的所述第二光束路径是笔直的。

5.如权利要求1或2所述的光学布置，其中，通过所述分束器元件(100)的所述第一光束路径是笔直的，并且通过所述分束器元件(100)的所述第二光束路径是有角度的。

6.如权利要求1所述的光学布置，其中，所述光学布置被配置为在所述第二透镜组和所述第三透镜组之间产生中间图像。

7.如权利要求6所述的光学布置，其中，所述中间图像大致位于所述第二透镜组和所述第三透镜组之间的中间。

8.如权利要求1或2所述的光学布置，其中，所述第一透镜组被布置在所述显微镜物镜和所述第三透镜组之间。

9.如权利要求1或2所述的光学布置，其中，所述光学布置以使得所述扫描器设备被布置在所述显微镜物镜的出射光瞳(62；80；90)的共轭平面中的方式被配置。

10.如权利要求8所述的光学布置，其中，所述显微镜物镜包括在3mm和20mm之间的出射光瞳(62；80；90)。

11.如权利要求1或2所述的光学布置，其中，所述第一透镜组的焦距位于25和70mm之间，并且/或者，所述第二透镜组的焦距位于5和20mm之间，并且/或者，所述第三透镜组位于-15mm和-200mm之间。

12.如权利要求1或2所述的光学布置，其中，所述第一透镜组是镜筒透镜，并且/或者，所述第二透镜组是扫描物镜。

13.一种激光扫描器系统，包括：

激光光源(30)，

扫描器设备，以及

如权利要求1至12中的任一项所述的光学布置，其被提供在所述扫描器设备和样品(35)的位置之间。