[发明专利]高性能两相冷却设备

权利要求书

1.一种热接地平面，包含：

包含多个微结构的金属基底，形成芯吸结构；

蒸汽腔，与所述多个微结构连通；

至少一个中间基底，成形为增加在所述芯吸结构的至少一个区域中的芯吸结构的有效高宽比；和

容纳在所述热接地平面内的流体，用于将热能从所述热接地平面的至少一个区域传输到所述热接地平面的另一个区域，其中，所述流体由毛细力驱动，

其中，所述至少一个中间基底紧邻所述芯吸结构，在所述热接地平面的至少一个区域中隔离液相与汽相。

2.如权利要求1所述的热接地平面，进一步包含金属背板，其中，所述蒸汽腔由所述金属基底和所述金属背板围成。

3.如权利要求2所述的热接地平面，其中，所述金属基底结合到所述金属背板以形成密闭密封的蒸汽腔。

4.如权利要求1所述的热接地平面，其中，所述至少一个中间基底包含金属。

5.如权利要求1所述的热接地平面，其中，所述至少一个中间基底的至少一个区域进一步包含具有1-1000微米特征尺寸的多个微结构。

6.如权利要求1所述的热接地平面，其中，所述至少一个中间基底的至少一个区域包含多个微结构，所述多个微结构与所述芯吸结构的至少一个区域交织，以在所述热接地平面的至少一个区域中形成高有效高宽比的芯吸结构。

7.如权利要求5所述的热接地平面，其中，至少一个中间基底由至少一个开口组成，其中，所述开口大幅大于所述微结构，因此在所述热接地平面的至少一个区域中，所述芯吸结构与蒸汽腔直接连通。

8.如权利要求2所述的热接地平面，其中，所述背板进一步包含支架，所述支架与所述中间基底和所述金属基底结合，结构地支撑所述热接地平面。

9.如权利要求2所述的热接地平面，其中，所述金属基底、所述至少一个中间基底和所述背板包含钛。

10.如权利要求9所述的热接地平面，其中，所述金属基底由激光焊接连接到所述背板，以形成密闭密封的蒸汽腔。

11.如权利要求1所述的热接地平面，其中，所述至少一个中间基底具有带多个突起的区域，所述多个突起保形地配合到所述芯吸结构中，以形成窄的流体通道，所述流体由毛细力驱动通过所述流体通道。

12.如权利要求11所述的热接地平面，其中，所述突起成形为配合到所述芯吸结构的特征中。

13.如权利要求6所述的热接地平面，其中，在芯吸通道与所述中间基底之间的流体通道的有效高宽比h/w大于1，其中，h是流体通道的有效高度，w是流体通道的宽度。

14.如权利要求1所述的热接地平面，其中，所述微结构包含通道、柱、槽和沟中的至少一个。

15.如权利要求1所述的热接地平面，其中，所述热接地平面的至少一个区域的表面由纳米结构二氧化钛（NST）组成。

16.如权利要求1所述的热接地平面，其中，所述微结构中的一个或更多个具有在1-1000微米之间的高度、在1-1000微米之间的宽度和在1-1000微米之间的间距。

17.如权利要求1所述的热接地平面，其中，所述热接地平面具有蒸发器区域、绝热区域和冷凝器区域，并且其中，所述中间基底在蒸发器区域中具有相对于绝热区域的不同形貌。

18.如权利要求1所述的热接地平面，其中，所述中间基底包含多个微结构，所述多个微结构与所述芯吸结构交织，其中，所述交织的微结构机械联接到支撑横向构件。

19.如权利要求1所述的热接地平面，其中，所述蒸汽腔构造有一个或更多个凹陷区域，以提供变化的蒸汽腔高度。