[发明专利]管路保持连接结构以及具备所述结构的高频天线装置有效
申请号: | 201680007653.X | 申请日: | 2016-01-22 |
公开(公告)号: | CN107208833B | 公开(公告)日: | 2019-01-11 |
发明(设计)人: | 李东伟;安东靖典 | 申请(专利权)人: | 日新电机株式会社 |
主分类号: | F16L41/08 | 分类号: | F16L41/08;F16L5/00;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/46;C23C16/509 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 杨文娟;臧建明 |
地址: | 日本京都府京都*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 管路 保持 连接 结构 以及 具备 高频 天线 装置 | ||
1.一种管路保持连接结构,其为内部供流体流动的管路贯穿真空容器的开口部的部分的结构,所述管路保持连接结构的特征在于包括:
外壳,以气密地封闭所述开口部的方式而固定于所述真空容器的外壁;
第1管路,设置于所述真空容器内且在内部供所述流体流动,且所述第1管路的端部附近贯穿所述真空容器的所述开口部及所述外壳,且在所述端部附近具有卡止部,所述卡止部与所述外壳的真空容器侧端部卡合,以阻止所述第1管路朝向真空容器外侧方向的移动,进而在所述第1管路的端部具有公螺纹部;
第1衬垫,对所述外壳与所述第1管路之间进行真空密封;
第2管路,设置于所述真空容器外且在内部供所述流体流动,且在所述第2管路的端部具有母螺纹部,所述母螺纹部与所述第1管路的所述公螺纹部螺合以连接两管路;以及
第2衬垫,对所述第1管路的端部与所述第2管路的端部之间进行密封。
2.一种管路保持连接结构,其为内部供流体流动的管路贯穿真空容器的开口部的部分的结构,所述管路保持连接结构的特征在于包括:
外壳,以气密地封闭所述开口部的方式而固定于所述真空容器外壁,且在所述外壳的内部具有贯穿孔以及与所述贯穿孔相连的第1母螺纹部及第2母螺纹部;
第1管路,设置于所述真空容器内且在内部供所述流体流动,所述第1管路的端部附近贯穿所述真空容器的开口部,且在所述端部附近具有卡止部,所述卡止部与所述外壳的真空容器侧端部卡合,以阻止所述第1管路朝向真空容器外侧方向的移动,进而在所述第1管路的端部具有第1公螺纹部,所述第1公螺纹部与所述外壳的所述第1母螺纹部螺合,以连接所述第1管路与所述外壳;
衬垫,对所述外壳与所述第1管路之间进行真空密封;
第2管路,设置于所述真空容器外且在内部供所述流体流动;以及
接头,具有连接所述第2管路的端部的部分、及与所述外壳的所述第2母螺纹部螺合的第2公螺纹部,将所述第2管路以密封所述流体的状态而连接于所述外壳。
3.一种高频天线装置,其特征在于包括:
根据权利要求1所述的管路保持连接结构,且其所述外壳为绝缘物制,
所述第1管路包括导体,所述第1管路的两端部附近分别贯穿在所述真空容器的壁面上所设的两个开口部,
所述管路保持连接结构设置在所述第1管路的各所述端部附近贯穿各所述开口部的部分,
在所述真空容器的各所述开口部,设置有将所述真空容器与所述第1管路之间电性绝缘的绝缘物,
且所述第1管路使高频电流流经其中而作为高频天线发挥功能。
4.一种高频天线装置,其特征在于包括:
根据权利要求2所述的管路保持连接结构,且其所述外壳为金属制,
所述第1管路包括导体,所述第1管路的两端部附近分别贯穿在所述真空容器的壁面上所设的两个开口部,
所述管路保持连接结构设置在所述第1管路的各所述端部附近贯穿各所述开口部的部分,
在所述真空容器的各所述开口部及其周围,设置有将所述真空容器与所述第1管路及所述外壳之间电性绝缘的绝缘物,
且所述第1管路使高频电流流经其中而作为高频天线发挥功能。
5.一种高频天线装置,其特征在于包括:
根据权利要求1所述的管路保持连接结构,且其所述外壳为绝缘物制;以及
根据权利要求2所述的管路保持连接结构,且其所述外壳为金属制,
两个所述管路保持连接结构的所述第1管路不是不同的管路,而是相同的管路,且所述第1管路包括导体,所述第1管路的其中一个端部附近贯穿在所述真空容器的壁面上所设的第1开口部,所述第1管路的其中另一个端部附近贯穿在所述真空容器的壁面上所设的第2开口部,
在所述第1管路的所述其中一个端部附近贯穿所述第1开口部的部分设置根据权利要求1所述的管路保持连接结构,且在所述第1开口部,设置有将所述真空容器与所述第1管路之间电性绝缘的绝缘物,
在所述第1管路的所述其中另一个端部附近贯穿所述第2开口部的部分设置根据权利要求2所述的管路保持连接结构,且在所述第2开口部及其周围,设置有将所述真空容器与所述第1管路及金属制的所述外壳之间电性绝缘的绝缘物,
且所述第1管路使高频电流流经其中而作为高频天线发挥功能。
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