[发明专利]位移传感器以及距离调节装置

说明书

一种位移传感器，具备：线圈；逆变器，与所述线圈电连接，生成振荡信号；降低部，电连接于所述线圈与所述逆变器的输出端之间，使所述振荡信号的强度降低；以及频率检测部，是与所述逆变器电连接的频率检测部，根据测量对象物与所述线圈之间的距离，对包括所述线圈、所述逆变器以及所述降低部且振荡频率为30MHz以上的振荡电路的振荡频率进行检测。

技术领域

本发明涉及对与测量对象物之间的距离进行测量的位移传感器以及距离调节装置。

本申请对在2015年11月17日申请的日本专利申请第2015－224695号主张优先权，将其内容引用于此。

背景技术

作为对与金属等测量对象物之间的距离进行测量的位移传感器，已知使用了振荡电路的位移传感器。在该位移传感器中，在具有线圈的基板上安装有振荡电路和累计电路。在该位移传感器中，振荡电路的振荡频率根据线圈与测量对象物之间的距离变化而变化，所以通过检测该振荡频率而对与测量对象物之间的距离进行测量。

这样的位移传感器辐射高次谐波(噪声)，所以要求满足被标准化的EMC(Electromagnetic Compatibility，电磁兼容性)规格。因此，以往，在使用位移传感器的环境下，为了使位移传感器辐射的高次谐波不泄漏到外部，需要对包含测量对象物的位移传感器整体进行屏蔽。但是，在这样对位移传感器整体进行屏蔽的方法中，存在屏蔽材料费、制造费等成本增大的情况。另外，根据位移传感器的使用环境，还存在无法对位移传感器整体进行屏蔽的情况。另一方面，在将用于降低高次谐波的结构(噪声降低单元)设置于电路内的情况下，不仅对高次谐波造成影响，还对用于距离测量的基本波形造成影响。因此，在位移传感器的领域以往未将用于降低高次谐波的结构设置于电路内。另外，在使用了LC振荡电路的位移传感器中，在利用MHz等级的振荡频率来进行测量的情况下，还有时用于测量的基准波以及高次谐波这双方的强度增大，难以满足EMC规格。

专利文献1：日本特开2009－192385号公报

发明内容

本发明的一个方案提供能够利用低成本且简易的结构来降低振荡信号的强度的位移传感器以及距离调节装置。

本发明的一个方案为一种位移传感器，具备：线圈；逆变器，与所述线圈电连接，生成振荡信号；降低部，电连接于所述线圈与所述逆变器的输出端之间，使所述振荡信号的强度降低；以及频率检测部，是与所述逆变器电连接的频率检测部，根据测量对象物与所述线圈之间的距离，对包括所述线圈、所述逆变器以及所述降低部且振荡频率为30MHz以上的振荡电路的振荡频率进行检测。

在本发明的一个方案中，所述降低部可以具备噪声降低部，该噪声降低部使规定的频率以上的所述振荡信号的强度降低。

在本发明的一个方案中，所述噪声降低部可以包含磁性材料。

在本发明的一个方案中，所述磁性材料可以包含铁素体。

在本发明的一个方案中，所述降低部可以具备电阻部，该电阻部使所述振荡信号所包含的基本波形以及高次谐波的强度降低。

在本发明的一个方案中，所述频率检测部可以具有频率计数器，该频率计数器对频率根据所述测量对象物与所述线圈之间的距离而变化的所述振荡信号的信号值超过阈值的次数进行计数，根据计数出的次数，导出所述振荡电路的振荡频率。

在本发明的一个方案中，所述位移传感器可以还具备输出部，该输出部根据由所述频率检测部检测出的振荡频率，将表示所述测量对象物与所述线圈之间的距离的值作为数字信号输出到外部。

在本发明的一个方案中，可以是所述逆变器和所述频率检测部由一个硬件构成，所述线圈和所述降低部配置于所述硬件的外部，所述降低部连接于所述硬件的输出端。

在本发明的一个方案中，所述降低部可以与所述线圈相比配置得靠近所述硬件。