[发明专利]低密度抛光垫

权利要求书

1.用于抛光基材的抛光垫，所述抛光垫包含：

抛光体，所述抛光体具有在0.4-0.55g/cc的范围内的密度且包含：

热固性聚氨酯材料；及

多个分散于所述热固性聚氨酯材料中的闭合的泡孔，所述多个闭合的泡孔各自具有包含丙烯酸类共聚物的壳，所述多个闭合的泡孔具有多模态直径分布，而且，所述多个闭合的泡孔在所述热固性聚氨酯材料中提供在所述热固性聚氨酯材料总体积的50-60％的范围内的总孔体积，

其中所述多个闭合的泡孔由第一多个微型要素和第二多个微型要素形成，第一多个微型要素为未膨胀的致孔剂或在整个模塑方法中增加体积的致孔剂，以及第二多个微型要素为预膨胀的致孔剂或在整个模塑方法中保持基本上相同体积的致孔剂。

2.如权利要求1所述的抛光垫，其中，所述抛光体具有在0.44-0.52g/cc的范围内的密度。

3.如权利要求1所述的抛光垫，其中，所述抛光体是均质抛光体。

4.如权利要求1所述的抛光垫，其中，所述抛光体进一步包含：

第一凹槽化表面；及

与所述第一凹槽化表面相对的第二平坦表面。

5.如权利要求1所述的抛光垫，其中，所述多个闭合的泡孔各自是基本上球形的。

6.如权利要求1所述的抛光垫，其中，所述抛光体是模塑抛光体。

7.如权利要求1所述的抛光垫，其中，所述抛光体进一步包含：

大致均匀地分布在整个所述抛光体中的乳浊化填充物。

8.如权利要求1所述的抛光垫，进一步包含：

设置于所述抛光体的背面上的支撑层。

9.如权利要求1所述的抛光垫，进一步包含：

设置于所述抛光体的背面中的检测区。

10.如权利要求1所述的抛光垫，进一步包含：

设置于所述抛光体的背面上的副垫。

11.如权利要求1所述的抛光垫，进一步包含：

设置于所述抛光体中并与所述抛光体共价结合的局部区域透明的区。

12.抛光垫的制造方法，所述方法包括：

在成形模具中提供支撑层；

在所述成形模具中且在所述支撑层上提供预聚物及增链剂或交联剂与第一多个微型要素和第二多个微型要素的混合物，所述多个微型要素各自具有初始尺寸；其中第一多个微型要素为未膨胀的致孔剂或在整个模塑方法中增加体积的致孔剂，以及第二多个微型要素为预膨胀的致孔剂或在整个模塑方法中保持基本上相同体积的致孔剂；

加热所述成形模具中的所述混合物以提供部分固化的模塑抛光体，其包含热固性聚氨酯材料及多个分散于所述热固性聚氨酯材料中的闭合的泡孔，通过第二多个微型要素以及在所述加热期间使所述第一多个微型要素各自膨胀至较大尺寸形成多个闭合的泡孔，所述多个闭合的泡孔具有多模态直径分布，而且，所述多个闭合的泡孔在所述热固性聚氨酯材料中提供在所述热固性聚氨酯材料总体积的50-60％的范围内的总孔体积，其中，使所述部分固化的模塑抛光体结合至所述支撑层；

从所述成形模具移除所述部分固化的模塑抛光体与支撑层的配对物；

在从所述成形模具移除所述部分固化的模塑抛光体与支撑层的配对物之后，在所述成形模具的外部对所述部分固化的模塑抛光体作进一步固化以提供模塑抛光体；及

在从所述成形模具移除所述部分固化的模塑抛光体与支撑层的配对物之后，移除所述支撑层。

13.如权利要求12所述的方法，其中，所述支撑层是在所述成形模具的外部对所述部分固化的模塑抛光体作进一步固化之前移除的。