[发明专利]树脂组合物、树脂膜及电子部件

说明书

本发明提供一种树脂组合物，其特征在于，含有：粘结剂树脂(A)、具有酸性基团或潜在性酸性基团的化合物(B)、有机溶剂(C)以及化合物(D)，上述化合物(D)具有选自硅原子、钛原子、铝原子及锆原子中的1个原子、且具有键合于该原子的烃氧基或羟基，上述化合物(B)为选自脂肪族化合物、芳香族化合物及杂环化合物中的至少1种，相对于100重量份的上述粘结剂树脂(A)，上述化合物(B)的含量为0.1～2.5重量份、上述化合物(D)的含量为2.2～7.0重量份。

技术领域

本发明涉及树脂组合物及在基板上具有由该树脂组合物而得到的树脂膜的层叠体，进一步详细而言，涉及能够形成保存稳定性优异、且剥离强度高、对金属的耐腐蚀性优异的树脂膜的树脂组合物，及使用该树脂组合物而得到的树脂膜以及电子部件。

背景技术

在显示元件、集成电路元件、固体成像元件、彩色滤光片、薄膜晶体管及黑色矩阵等电子部件中，设置有各种树脂膜、例如：用于防止电子部件的劣化、损伤的保护膜；用于将具有元件、布线的基板的来自元件、布线的凹凸平坦化的平坦化膜；以及用于保持电绝缘性的电绝缘膜等。在薄膜晶体管型液晶显示元件、集成电路元件等元件中，为了将被配置成层状的多个布线间绝缘，设置有作为层间绝缘膜的树脂膜。此外，在有机EL元件中，发光体部的结构通常包含阳极/空穴注入传输层/有机发光层/电子注入层/阴极，在该发光体部的周围，为了与其他的元件、布线电绝缘，设置有像素隔离膜(也称为像素定义膜、元件隔离膜)，在晶体管等有源元件与阳极之间设置有平坦化膜。进而，在具有触控面板结构的显示装置中，在形成为网眼状的一对电极间，设置有作为用于将其电绝缘的层间绝缘膜的树脂膜。以往，作为用于形成这些树脂膜的材料，使用了各种树脂组合物。

一直以来，作为用于形成这些树脂膜的树脂材料，通常使用了环氧树脂等热固性树脂材料。然而，随着近年来布线、设备的高密度化，在这些树脂材料中，也逐渐要求一种与基板的密合性良好且低介电性等电特性优异的新的树脂材料。为了应对于这些要求，在例如专利文献1中公开了一种放射线敏感性组合物，其含有作为粘结剂树脂的环状烯烃系聚合物、放射线敏感性化合物、有机溶剂、作为具有酸性基团的化合物的三甲氧基甲硅烷基苯甲酸、以及作为具有键合于硅原子的烃氧基的化合物的γ-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-292277号公报。

发明内容

发明要解决的问题

根据本发明人的研究，专利文献1中记载的放射线敏感性组合物虽然实际上是配合粘接助剂来使用的，但是即便是这样对基板的剥离强度也不充分，因此需要进一步改进。

本发明的目的在于提供一种能够形成保存稳定性优异、且剥离强度高、对金属的耐腐蚀性优异的树脂膜的树脂组合物，及使用该树脂组合物而得到的树脂膜以及电子部件。

用于解决问题的方案

本发明人等为了实现上述目的，进行了深入研究，结果发现，只要使用以下的树脂组合物即可实现上述目的，基于这个见解，从而完成了本发明，上述的树脂组合物是使粘结剂树脂(A)与具有酸性基团或潜在性酸性基团的化合物(B)、有机溶剂(C)以及化合物(D)组合而成的，上述化合物(D)具有选自硅原子、钛原子、铝原子及锆原子中的1个原子、且具有键合于该原子的烃氧基或羟基，上述化合物(B)为选自脂肪族化合物、芳香族化合物及杂环化合物中的至少1种，上述化合物(B)的含量及上述化合物(D)的含量为特定的范围。

即，根据本发明，可提供：