[发明专利]基材的检测

权利要求书

1.一种用于定位基材的方法，所述方法包括：

朝向所述基材驱动包括拣选头的拣选机；

提供驱动步骤期间至少一个输出值；

执行参照驱动，其中，所述拣选机驱动通过用于固定基材的固定夹，以及在参照驱动步骤期间获取至少一个参照输出值或值范围；

使基材接触拣选头；

提供接触步骤期间的接触值；

使拣选头在基材上超程，其中，超程是即使在拣选头已经接触所述基材之后仍然继续驱动包括拣选头的拣选机；和

提供超程步骤期间至少一个超程值；以及

通过计算所述至少一个参照输出值或值范围与所述至少一个超程值之间的差来定位所述基材；

其中，所述基材的位置在差值等于或大于阈值的某个点上；

其中，所述至少一个输出值是由于驱动步骤期间拣选头与基材之间的距离出现预期变化，

其中，接触值是由于接触步骤期间拣选头与基材之间的距离出现小于预期的变化。

2.根据权利要求项1所述的方法，其中，超程范围从1μm到1mm。

3.根据权利要求项2所述的方法，其中，超程范围约为3μm、5μm、7μm或10μm。

4.根据权利要求项1所述的方法，其中，传感器与用于固定基材的固定夹相距固定的距离，并且其中，将靶板固定附接于拣选机。

5.根据权利要求项4所述的方法，其中，所述传感器是电感式、机械式、电容式、光学或声学传感器。

6.根据权利要求项1所述的方法，还包括通过确定所述至少一个参照输出值或值范围与所述至少一个输出值不相等的点来定位基材的步骤。

7.根据权利要求项6所述的方法，其中，至少一个参照输出值或值范围与至少一个输出值不相等的值对应于接触值。

8.根据权利要求项1所述的方法，还包括以下步骤：

对所述至少一个输出值执行数学计算，获取计算输出；

对所述至少一个接触值执行数学计算，获取尖峰；和，

对所述至少一个超程值执行数学计算，获取计算超程，

其中，所述计算输出基本稳定，和

其中，所述计算超程基本稳定。

9.根据权利要求项1所述的方法，还包括以下步骤：

执行参照驱动，其中，所述拣选机在基材上方驱动；和

在参照驱动步骤期间，获取至少一个参照输出值或值范围。

10.根据权利要求项1所述的方法，其中，沿着x轴、y轴或z轴的其中一个轴执行驱动和重新驱动步骤。

11.根据权利要求项4所述的方法，其中，所述传感器为编码器。

12.根据权利要求项1所述的方法，其中，驱动步骤包括将拣选机从第一位置移到第二位置。

13.根据权利要求项12所述的方法，还包括：

在接触步骤前，命令拣选机从第二位置移到第三位置，

其中，由于拣选头接触基材，提供接触值，所以，拣选机不会行进从第二位置到第三位置的整个距离。

14.根据权利要求项13所述的方法，其中，第一位置与第二位置之间的差值等于第二位置与第三位置之间的差值。

15.根据权利要求项13所述的方法，其中，第三位置的预期的值是基于拣选机从第一位置到第二位置的移动的已知输出。

16.根据权利要求项1所述的方法，还包括在参照驱动步骤后，将拣选机退回设定的量。

17.根据权利要求项16所述的方法，其中，在退回步骤中，拣选机退回到保持位置。