[发明专利]在线移送的分析样品的分析系统

说明书

本发明涉及一种分析系统，可在线移送分析样品，同时迅速得到分析结果。此外，还提供一种分析系统，对于从两个以上的现场所供给的分析样品，形成在分析样品的移送路径上不采用泵或阀等具有失效容体部分的构成，同时借由一台分析装置来分析。本发明涉及一种分析系统，具备两个以上的样品分别移送装置，并且样品分别移送装置的各样品移送路径，与由应用感应耦合等离子体或微波等离子体的分析装置所构成的共通分析装置的等离子体炬连接；各样品移送路径中，具有主流路、补充气体供给流路、以及排放流路；等离子体炬在大致中央处具有导入雾化的分析样品的样品导入管；排放流路的内径与等离子体炬的样品导入管的入口部分的内径为同等以上。

技术领域

本发明涉及用以在线移送两个以上的分析样品并借由一台分析装置进行分析的系统。尤其，本发明涉及适合于借由感应耦合等离子体或微波等离子体的分析系统。

背景技术

半导体制造步骤中，各种处理液、化学药品等的工厂中的质量管理或排液管理中，存在着欲分析溶液中的微量金属的浓度等的需求。此外，河川的水质管理、土壤污染等的环境分析中，微量元素的分析也是必要的。该微量元素的分析中，分析装置可使用感应耦合等离子体质谱分析装置或感应耦合等离子体发光分光分析装置等利用感应耦合等离子体(ICP：Inductively Coupled Plasma)的分析装置(以下，视情况记载为ICP分析装置)，或是利用微波等离子体(MP：Microwave Plasma)的分析装置(以下记载为MP分析装置)。此等ICP分析装置或MP分析装置，多设置在研究所或实验室等的分析设施，一般是将工厂等现场所采集的分析样品送入至研究所等来分析微量元素等。

此等借由ICP分析装置等的元素分析，由于通常不在现场直接进行，而是介由人力来进行分析样品的送入，所以至得到分析结果为止，会产生时间差。因此，即使从分析结果检测出异常时，对制造产线等现场的对应也产生延迟，而有无法完全排除在其间制造出不良品等缺失的产生的问题。此外，由于分析样品的采集是由人力来进行，除了可分析次数存在着限制外，并且因制造产线所使用的酸、碱、有机溶剂等种类的不同，作业者的安全性也可能产生问题。

在该背景下，期待一种可从现场至ICP分析装置或MP分析装置为止，在线移送分析样品的分析系统。此点，虽然装置的种类与ICP分析装置等有所不同，但在专利文献1中，提出一种对于液相层析分析装置，可定期或连续地将制造步骤中的样品溶液取样的在线移送装置。此系统借由流路切换阀的设置，可省略大型的驱动机构。

在如此地在线移送分析样品的系统中，较理想的是在取样分析样品的现场的每1处设置一台分析装置。然而，ICP分析装置或MP分析装置，可设置在1处设施的台数存在着限制，难以导入与取样现场数目相同台数的分析装置。此是因ICP分析装置等为相对大型的精密机器，设置空间或空调环境等有所限制，可设置场所受限，且装置价格也昂贵之故。从以上情况来看，使用ICP分析装置或MP分析装置的分析系统中，期待构成为可借由一台或少数台ICP分析装置等来分析从多个现场所取样的分析样品。

在此，依据ICP分析装置等的分析系统，一般而言，如图1所示，在借由雾化器N使液体状态的样品溶液S雾化后，在喷雾室C内捕集粒径较大的雾，仅将粒径较小(平均粒径约5μm左右)的雾状分析样品导入至等离子体炬P后，提供质谱分析或分光分析。该分析系统中，当分析从多个现场所采集的种类不同的样品时，最简单的是，可考虑随时更换供给至雾化器的样品溶液(更换供给用管等)。然而，此时在分析完1种样品溶液后切换至其他样品溶液前，必须充分地洗净雾化器、喷雾室等的内部。当喷雾室等的内部中，不同分析样品彼此混合时，无法得到正确的分析结果。此外，样品彼此的液性不同时，容易产生析出物(例如当酸性溶液与碱性溶液混合时，会析出盐)。

相对于上述喷雾室内的洗净，在专利文献2中，揭示一种将样品溶液用的导入部与洗净液用的导入部连接于一个喷雾室的分析系统。该系统中，借由设置两个液导入部，在分析两种以上的分析样品时，可降低喷雾室内的洗净时间。

现有技术文献

专利文献