[发明专利]光选择透射型玻璃和层叠基板

说明书

技术领域

本发明涉及光选择透射型玻璃和层叠基板。

背景技术

使用固体摄像元件的摄像装置(代表性的是相机模块)中一直使用透射·阻挡特定范围的波长的光学滤波器(例如光选择透射型玻璃)。例如，可举出用于生成彩色图像的滤色器、透射可见光并阻挡近红外光的灵敏度校正用光学滤波器等摄像装置用的光学滤波器。

作为灵敏度校正用光学滤波器，例如，已知有在氟磷酸盐系玻璃、磷酸盐系玻璃等中添加CuO等而成的选择性阻挡近红外线的光学滤波器(参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:国际公开第2014/034386号公报

发明内容

随着要求摄像装置的小型化、低背化，要求摄像装置中的光学部件的轻薄化、部件数量减少。作为将摄像装置小型化的手段，进行了将固体摄像元件和光学滤波器一体化的研究。

固体摄像元件具有以1～4μm见方尺寸的像素二维排列几十万～几百万个而成的CMOS、CCD结构的光检测器阵列。并且，固体摄像元件为了生成彩色图像在光检测器的入射侧对每个像素具有RGB镶嵌滤色器，在其上对每个像素具有将入射光聚光在光检测器的受光面的树脂微透镜。

例如，将固体摄像元件和光选择透射型玻璃一体化时，如果经过将光选择透射型玻璃的小片一个一个地一体化的工序，则生产率低。与此相对，作为在硅基板的状态下对应每个固体摄像元件形成RGB镶嵌滤色器和树脂微透镜的基板工艺的一环，将基板(晶片)状态的光选择透射型玻璃一体化时，能够提高生产率。

在硅基板贴合构成光选择透射型玻璃的玻璃基板时，大多使用热塑性树脂作为粘接层。这时，高温下硅基板和玻璃基板被粘接，但将高温下固定的玻璃基板和硅基板冷却时，如果存在玻璃基板与硅基板之间的热膨胀系数之差，则玻璃基板、硅基板各自产生应力。其结果，可能硅基板和光选择透射型玻璃产生机械应变而得到的层叠基板发生翘曲，在层叠基板制造工艺中出现不良情况，或者光选择透射型玻璃产生光学应变。

另外，在罩玻璃形成RGB镶嵌滤色器时，可能引起滤色器与光检测器阵列的图案偏移。特别是，近年来，为了提高生产率，硅基板的尺寸超过直径200mm，更有可能热膨胀系数的不匹配所致的机械应变变大，或者由此导致的光学应变变大。

本发明的目的在于提供能够抑制与硅基板层叠得到的层叠基板的变形、光学应变的光选择透射型玻璃。另外，本发明的目的在于提供抑制了变形、应变的产生的层叠基板。

本发明是一种光选择透射型玻璃，其特征在于，具备玻璃基板和光选择透射层，

该光选择透射层位于上述玻璃基板的至少一个主面，选择性透射近红外线和可见光线中的选自近红外线、可见光线、蓝色波长区域的可见光线、红色波长区域的可见光线以及绿色波长区域的可见光线中的至少一种，

上述玻璃基板在50℃～100℃的平均热膨胀系数α_50/100为2.70ppm/℃～3.20ppm/℃，

在200℃～300℃的平均热膨胀系数α_200/300为3.45ppm/℃～3.95ppm/℃，

将200℃～300℃的平均热膨胀系数α_200/300除以50℃～100℃的平均热膨胀系数α_50/100而得的值α_200/300/α_50/100为1.20～1.30，

碱金属氧化物的含量以氧化物基准的摩尔百分比计为0％～0.1％。

另外，本发明提供一种层叠基板，其具有设置于硅基板上的固体摄像元件和上述的光选择透射型玻璃。

本说明书中，表示数值范围的“～”以包括其前后记载的数值作为下限值和上限值的含义使用。以下本说明书中，只要没有特别说明，“～”就是以相同的含义使用。

另外，本说明书中，只要没有特别说明，玻璃基板及其制造方法中的各成分的含量的说明中使用的％表示是指氧化物基准的摩尔百分比表示(摩尔％)。

本发明能够提供一种与硅基板层叠而制成层叠基板时能够抑制变形、应变的产生的光选择透射型玻璃。另外，本发明能够提供一种抑制变形、应变的产生的层叠基板。

附图说明

图1A是简要地表示光选择透射型玻璃的例子的截面图。

图1B是简要地表示光选择透射型玻璃的另一例子的截面图。

图1C是简要地表示光选择透射型玻璃的又一例子的截面图。

图2是简要地表示层叠基板的例子的立体图。