[发明专利]用于嵌段共聚物的取向控制的氟-醇添加剂

权利要求书

1.一种组合物，其包含

i)溶剂；

ii)嵌段共聚物，其包含：

a)包含式(B-1)的重复单元的第一嵌段：

其中I)R^w是选自H、甲基、乙基和三氟甲基(*-CF₃)的一价基团且II)R^d是包含连接到碳1上的芳环的一价基团，和

b)连接到第一嵌段上的脂族聚碳酸酯第二嵌段；和

iii)包含氟-醇重复单元(HFA重复单元)的表面活性聚合物(SAP)，所述HFA重复单元包含至少一个六氟异丙基醇基团(HFA基团)，所述HFA基团具有结构

其中所述嵌段共聚物和所述SAP溶解在所述溶剂中。

2.权利要求1的组合物，其中所述组合物适用于形成布置在基底的垫层上的自组装层(SA层)，

其中

所述SA层包含非共价缔合的所述嵌段共聚物和所述SAP，

所述SA层具有与气氛接触的顶表面，

所述垫层对所述嵌段共聚物中性润湿，

所述SA层的所述嵌段共聚物能够自组装以形成具有特征性节距Lo的相分离结构域图案，

所述结构域图案包含交替结构域，交替结构域包含各自的所述嵌段共聚物的化学上不同的嵌段，

各结构域与所述垫层和所述气氛接触，且

包含聚碳酸酯嵌段的结构域具有比包含所述嵌段共聚物的第一嵌段的结构域高的SAP浓度。

3.权利要求2的组合物，其中所述包含聚碳酸酯嵌段的结构域具有比不含SAP的其它方面相同的包含聚碳酸酯嵌段的结构域低的表面能。

4.权利要求2的组合物，其中所述结构域图案包含层状结构域，且各层状结构域相对于所述垫层具有垂直取向。

5.权利要求2的组合物，其中所述结构域图案包含圆柱形结构域，且各圆柱形结构域具有垂直于所述垫层取向的中心轴。

6.权利要求1至5任一项的组合物，其中所述SAP是HFA重复单元的均聚物。

7.权利要求6的组合物，其中所述HFA重复单元选自：

8.权利要求1至5任一项的组合物，其中所述SAP是包含HFA重复单元的无规共聚物。

9.权利要求8的组合物，其中所述无规共聚物包含选自下组的稀释剂重复单元：

以及它们的组合，

其中各R”独立地选自*-H、*-Me、*-Et和*-CF₃，且各n'是1至12的独立整数。

10.权利要求1至5任一项的组合物，其中所述嵌段共聚物的聚碳酸酯嵌段包含具有如下结构的碳酸三亚甲酯重复单元：

11.权利要求10的组合物，其中所述嵌段共聚物的聚碳酸酯嵌段是碳酸三亚甲酯重复单元的均聚物。

12.权利要求1的组合物，其中所述嵌段共聚物的第一嵌段包含具有如下结构的重复单元：

13.权利要求1的组合物，其中所述嵌段共聚物的第一嵌段是聚(苯乙烯)(PS)且所述嵌段共聚物的第二嵌段是聚(碳酸三亚甲酯)(PTMC)。

14.权利要求1的组合物，其中所述嵌段共聚物是三嵌段共聚物。

15.权利要求14的组合物，其中所述三嵌段共聚物包含二价中心聚(苯乙烯)(PS)嵌段，该嵌段在各末端连接到两个聚(碳酸三亚甲酯)(PTMC)嵌段上。