[发明专利]聚合物及正性抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 201680009228.4 | 申请日： | 2016-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN107207664B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 星野学 | 申请（专利权）人： | 日本瑞翁株式会社 |
| 主分类号： | C08F212/06 | 分类号： | C08F212/06;C08F220/22;G03F7/039;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 邵秋雨;赵曦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 聚合物 正性抗蚀剂 组合 | ||
【权利要求书】：
1.一种聚合物，其含有α-甲基苯乙烯单元和α-氯代丙烯酸甲酯单元，
重均分子量Mw为64000以上且70000以下，
分子量分布Mw/Mn小于1.48，
分子量小于6000的成分的比例为0.2％以下，
且分子量超过100000的成分的比例为0.5％以上。
2.根据权利要求1所述的聚合物，其中，分子量小于10000的成分的比例为0.8％以下。
3.一种正性抗蚀剂组合物，其包含溶剂和权利要求1或2所述的聚合物。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日本瑞翁株式会社，未经日本瑞翁株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201680009228.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：聚合物及正性抗蚀剂组合物
- 下一篇：一种喷涂烘烤设备
