[发明专利]石英振子以及石英振动器件

说明书

本发明的石英振子(10)具备：石英片(11)，进行厚度切变振动；一对激励电极(12)，形成在所述石英片(11)的两面(11a、11b)；以及一对引出电极(13)，分别从所述激励电极(12)引出，所述石英片(11)具有具备被所述激励电极(12)被覆的多个丘陵部(15)的区域。通过丘陵部(15)，能够提高与激励电极(12)的密接性，能够提供一种可靠性高的石英振子(10)。

技术领域

本发明涉及石英振子以及石英振动器件。

背景技术

AT切割等的厚度切变的石英振子作为频率控制元件为人所知，作为频率以及时间的基准源而用于各种电子设备的振荡器。

例如，如日本特开2008-109538号公报所示，这种石英振子在进行了AT切割的矩形的石英片的中央形成有在厚度方向上对置的一对激励电极，并形成有从该一对激励电极分别引出至石英片的端部的引出电极。

发明内容

用于解决课题的技术方案

本发明的一个方式涉及的石英振子具备：板状的石英片，进行厚度切变振动；一对激励电极，形成在所述石英片的两面；以及一对引出电极，分别从所述激励电极引出。而且，所述石英片具有第一区域，所述第一区域具备被所述激励电极被覆的多个丘陵部。

本发明的一个方式涉及的石英振动器件具备上述的石英振子和对所述石英振子进行固定的封装件。

发明效果

根据上述的石英振子以及石英振动器件，具备高可靠性。

附图说明

图1是本发明的一个实施方式涉及的石英振动器件100的示意性剖视图。

图2是本发明的一个实施方式涉及的石英振子10的示意性的顶视图。

图3是石英片的主要部分剖视图。

图4是示出石英片的变形例的主要部分剖视图。

图5是实施例涉及的石英片的AFM观察结果。

图6是比较例涉及的石英片的AFM观察结果。

图7是示出实施例涉及的石英片的丘陵部的高度分布的图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明涉及的石英振子以及石英振动器件的实施方式进行详细说明。另外，附图是示意性地示出的，各图中的各种构造的尺寸以及位置关系等能够适当地进行变更。

《石英振动器件》

在对石英振子10进行说明之前，参照图1对容纳有石英振子10的石英振动器件100的整体图进行说明。图1是石英振动器件100的示意性的剖视图。石英振动器件100具备石英振子10和容纳石英振子10的封装件30。

封装件30具备第一基板31、配置在第一基板31的上表面的框部32、和将框部32的开口封闭的第二基板33。封装件30对石英振子10进行密封。第一基板31和框部32例如能够通过将陶瓷、玻璃或有机材料等具有绝缘性的材料加工成所希望的形状而得到。第一基板31和框部32可以使用独立的构件而将它们进行接合来形成，也可以使用相同材料一体地形成。此外，也可以使用陶瓷多层基板做成为由框部32形成腔的陶瓷封装件。

第二基板33可以使用与第一基板31同样的材料，也可以作为盖部而使用平板状的金属。在使用与第一基板31同样的材料的情况下，即使在产生了热历史的情况下，也能够抑制在封装件30产生的应力，因此能够提供可靠性高的石英振动器件100。