[发明专利]铝化合物以及利用其形成含铝膜的方法

权利要求书

1.一种由下列化学式1表示的铝化合物：

[化学式1]

R₃Al·L

在所述化学式1中，

各个R分别独立地包括直链或支链的C_3-8烷基；

L包括直链或环状胺。

2.根据权利要求1所述的铝化合物，其中，

所述直链或支链的C_3-8烷基包括异丙基或叔丁基。

3.根据权利要求1所述的铝化合物，其中，

所述L包括由下列化学式2表示的不对称胺：

[化学式2]

NR₁R₂R₃

在所述化学式2中，R₁、R₂和R₃分别独立地表示直链或支链的C_1-5烷基，其中，R₁、R₂和R₃均相同的情况除外。

4.根据权利要求1所述的铝化合物，其中，

所述L包括二甲基乙胺、甲基二乙胺、二甲基丙胺、二甲基丁胺或二甲基戊胺。

5.根据权利要求1所述的铝化合物，其中，

所述铝化合物为液体。

6.根据权利要求1所述的铝化合物，其中，

所述铝化合物包括三异丙基铝·三甲胺[ⁱPr₃Al·MMe₃]、三异丙基铝·三乙胺[ⁱPr₃Al·NEt₃]、三异丙基铝·二甲基乙胺[ⁱPr₃Al·NEtMe₂]、三异丙基铝·二甲基丁胺[ⁱPr₃Al·NMe₂ⁿBu]、三(叔丁基)铝·二乙醚[^tBu₃Al·OEt₂]、三(叔丁基)铝·四氢呋喃[^tBu₃Al·O(CH₂)₄]、三(叔丁基)铝·三甲胺[^tBu₃Al·NMe₃]、三(叔丁基)铝·三乙胺[^tBu₃Al·NEt₃]或三(叔丁基)铝·二甲基乙胺[^tBu₃Al·NEtMe₂]。

7.一种包括由下列化学式1表示的铝化合物的含铝膜形成用组合物：

[化学式1]

R₃Al·L

在所述化学式1中，

各个R分别独立地包括直链或支链的C_3-8烷基；

L包括选自由直链或环状醚和直链或环状胺所组成的组中的物质。

8.根据权利要求7所述的含铝膜形成用组合物，其中，

所述直链或支链的C_3-8烷基包括异丙基或叔丁基。

9.根据权利要求7所述的含铝膜形成用组合物，其中，

所述L包括二甲醚、二乙醚、甲基乙基醚、四氢呋喃、三甲胺、三乙胺、二甲基乙胺、甲基二乙胺、二甲基丙胺、二甲基丁胺或二甲基戊胺。

10.根据权利要求7所述的含铝膜形成用组合物，其中，

所述铝化合物为液体。