[发明专利]气体上浮工件支承装置及非接触工件支承方法

权利要求书

1.一种气体上浮工件支承装置，用于对供激光照射的板状工件进行搬运，其特征在于，

具有：安装底座；具有配置于所述安装底座上的第一气体上方喷出部及第二气体上方喷出部、配置于所述安装底座上且位于所述第一气体上方喷出部及所述第二气体上方喷出部之间的第三气体上方喷出部的气体上方喷出部；以及具有配置于所述第三气体上方喷出部的上方的第一气体下方喷出部和第二气体下方喷出部的气体下方喷出部，

能穿过所述第一气体下方喷出部和所述第二气体下方喷出部之间，将所述激光照射到工件，

所述工件在所述第一气体上方喷出部至所述第三气体上方喷出部的上方，通过从所述第一气体上方喷出部至所述第三气体上方喷出部喷出的上方气体而浮起，

所述工件在所述第三气体上方喷出部的上方，通过从所述第一气体下方喷出部和所述第二气体下方喷出部喷出的下方气体而承受朝下方的压力，

所述工件在所述第三气体上方喷出部的上方，被所述上方气体和所述下方气体支撑。

2.如权利要求1所述的气体上浮工件支承装置，其特征在于，

所述气体下方喷出部的一部分或者全部与设置有所述气体上方喷出部的区域的全部或者一部分对应地设置。

3.如权利要求1或2所述的气体上浮工件支承装置，其特征在于，

具有位置调节部，该位置调节部对设置于所述气体上方喷出部的多个气体上方喷出孔和设置于所述气体下方喷出部的多个气体下方喷出孔中的一方或者两方，使一部分或者全部的吹出位置进行调节。

4.如权利要求3所述的气体上浮工件支承装置，其特征在于，

所述位置调节部对能进行位置调节的喷出孔个别地或者每规定个数地进行位置调节。

5.如权利要求1或2所述的气体上浮工件支承装置，其特征在于，

具有气流调节部，该气流调节部对设置于所述气体上方喷出部的多个气体上方喷出孔和设置于所述气体下方喷出部的多个气体下方喷出孔中的一部分或者全部，进行气体的吹出流量和/或压力的调节。

6.如权利要求5所述的气体上浮工件支承装置，其特征在于，

所述气流调节部对能进行气流调节的喷出孔个别地或者每规定个数地进行气体的吹出流量和/或压力的调节。

7.如权利要求3所述的气体上浮工件支承装置，其特征在于，

具有控制部，该控制部对上浮支承所述板状工件之际的所述位置调节部的调节量进行控制。

8.如权利要求4所述的气体上浮工件支承装置，其特征在于，

具有控制部，该控制部对上浮支承所述板状工件之际的所述位置调节部的调节量进行控制。

9.如权利要求5所述的气体上浮工件支承装置，其特征在于，

具有控制部，该控制部对上浮支承所述板状工件之际的所述气流调节部的调节量进行控制。

10.如权利要求6所述的气体上浮工件支承装置，其特征在于，

具有控制部，该控制部对上浮支承所述板状工件之际的所述气流调节部的调节量进行控制。

11.如权利要求7所述的气体上浮工件支承装置，其特征在于，

具有检测部，该检测部对所述板状工件的高度位置进行检测，所述控制部根据所述检测部的检测结果对所述调节量进行控制。

12.如权利要求1或2所述的气体上浮工件支承装置，其特征在于，

设置于所述气体下方喷出部的多个下方喷出孔相对于设置于所述气体上方喷出部的多个上方喷出孔，在互相的吹出方向上一部分或者全部重合。