[发明专利]可变电容元件

说明书

技术领域

本发明涉及可变电容元件。

背景技术

作为可变电容元件，已知有如下的可变电容元件，即，通过使电介质层的介电常数根据施加电压而变化，从而使静电电容变化。

例如，在专利文献1公开了一种电介质层和电极交替地层叠且电极形成为梳形的可变电容元件。然而，在像专利文献1那样的将电极形成为梳形的可变电容元件中，起因于其电极构造，寄生电容会变大，不容易增大静电电容可变率。

为了解决上述的寄生电容的问题，在专利文献2中提出了一种可变电容元件，其特征在于，构成为具有：由电介质材料构成的可变电容层；位置隔着可变电容层对置的一对电极；隔着一对电极将可变电容层支承在中间的一对绝缘部；以及与一对电极分别相连的一对引出部，一对引出部分别配置在一对绝缘部内，并且处于与可变电容层大致垂直的同轴上。在这样的可变电容元件中，因为引出部处于与可变电容层大致垂直的同轴上，所以可抑制寄生电容。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-101041号公报

专利文献2：国际公开第2015/030170号

发明内容

发明要解决的课题

在专利文献2的实施例2记载的可变电容元件中，作为可变电容层以及绝缘部，使用了由(Ba_0.6Sr_0.4)TiO₃构成的电介质材料(εr＝2000)。此外，在实施例3记载的可变电容元件中，作为可变电容层使用了与上述相同的由(Ba_0.6Sr_0.4)TiO₃构成的电介质材料，作为绝缘部使用了CaO-Al₂O₃-SiO₂-B₂O₃类的玻璃陶瓷(gr＝7)。对于该实施例2的组合而言，存在寄生电容的下降不够充分的情况，此外，对于实施例3的组合而言，由于可变电容层与绝缘部的材料不同所引起的热膨胀系数之差，从而可靠性可能不够充分，特别是，对热循环的耐性可能不够充分。

因此，本发明的目的在于，提供一种即使在可变电容层与绝缘层的材料为不同种类的情况下热循环耐性也优异的可变电容元件。

用于解决课题的技术方案

本发明人为了消除上述问题而进行了潜心研究，结果发现，能够通过作为绝缘部的材料而使用至少包含Sr、进而还可以包含Ti和/或Zr的绝缘材料来解决上述问题，从而完成了本发明。

因此，根据本发明的主旨，提供一种可变电容元件，其特征在于，构成为具有：

可变电容层，由电介质材料构成；

电极，用于在可变电容层获得静电电容；

绝缘部，位置隔着可变电容层对置；以及

从电极引出的引出部，

绝缘部由至少包含Sr、进而还可以包含Ti和/或Zr的绝缘材料构成。

发明效果

根据本发明，通过用至少包含Sr、进而还可以包含Ti和/或Zr的绝缘材料来形成绝缘部，从而能够提供一种热循环耐性优异的可变电容元件。

附图说明

图1是本发明的一个实施方式中的可变电容元件的概略立体图。

图2是图1的实施方式中的层叠线圈部件的A-A’处的概略剖视图。

图3是本发明的另一个实施方式中的可变电容元件的概略立体图。

图4是本发明的一个实施方式中的可变电容元件1a的概略立体图。

图5是图4的实施方式中的可变电容元件1a的A-A’处的概略剖视图。

图6是本发明的另一个实施方式中的可变电容元件1b的概略立体图。

图7是图6的实施方式中的可变电容元件1b的A-A’处的概略剖视图概略立体图。

图8示出实施例的试样中的x(Zr摩尔比)与热膨胀系数的关系。

图9示出实施例的试样中的x(Zr摩尔比)与相对介电常数εr的关系。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的可变电容元件的一个实施方式进行详细说明。但是，本实施方式的可变电容元件以及各构成要素的形状以及配置等并不限定于图示的例子。