[发明专利]三极管型电离真空计有效
| 申请号： | 201680013476.6 | 申请日： | 2016-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN107407611B | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 宫下刚;中岛丰昭;福原万沙洋 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | G01L21/32 | 分类号： | G01L21/32;H01J41/04 |
| 代理公司： | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 | 代理人： | 齐永红 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 三极管 电离 真空计 | ||
【权利要求书】：
1.一种三极管型电离真空计，是安装在测量对象物上检测其内部压力的三极管型电离真空计，具有灯丝；配置在灯丝周围的具有筒状轮廓的栅极；以及在栅极周围同心配置的筒状离子收集器；给灯丝通电使该灯丝发光并释放热电子，施加给栅极高于灯丝的电位，以离子收集器捕捉在该栅极周边与热电子碰撞产生的气体原子、分子的正离子，根据此时的离子电流检测压力，所述三极管型电离真空计，其特征在于：
省去离子收集器的母线方向的两端部的粒子释放区域。
2.根据权利要求1所述的三极管型电离真空计，其特征在于：
所述离子收集器的母线方向的长度设定在栅极母线方向的长度的6％～80％的范围内，省去离子收集器的母线方向的粒子释放区域。
3.根据权利要求1或2所述的三极管型电离真空计，其特征在于：
将所述灯丝、所述栅极以及所述离子收集器收纳在金属材质的真空隔壁内。
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