[发明专利]用于具有改进的图像束稳定性及询问的带电粒子显微镜的方法及系统

权利要求书

1.一种扫描电子显微镜设备，其包括：

电子束源，其经配置以产生电子束；

一组电光元件，其将所述电子束的至少一部分引导到样本的部分上；

发射率分析器组合件；

分光器元件，其经配置以将由所述样本的表面发射的次级电子或反向散射电子中的至少一者的至少一部分引导到所述发射率分析器组合件，

其中所述发射率分析器组合件经配置以对所述次级电子或所述反向散射电子中的至少一者进行成像，其中所述发射率分析器组合件包含：

一组偏转光学器件；

第一电光透镜；

第一电子检测器，其包含中心孔，其中所述第一电子检测器经配置以收集所述次级电子的部分或所述反向散射电子的部分中的至少一者；

第一网状元件，其安置于所述第一电子检测器的下游；

第二网状元件，其安置于所述第一网状元件的下游，其中所述第一电子检测器及所述第一网状元件形成减速区域，其中所述第一网状元件及所述第二网状元件形成漂移区域；

能量过滤器，其安置于第二网状元件的下游；

第二电光透镜；及

第二电子检测器，其经配置以收集所述次级电子的额外部分或所述反向散射电子的额外部分中的至少一者。

2.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜设备，其中所述组偏转光学器件经配置以使包括所述次级电子或所述反向散射电子中的所述至少一者的图像束与所述发射率分析器组合件中的一或多个组件对准。

3.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜设备，其中所述组偏转光学器件包含一组静电偏转器或磁性偏转器中的至少一者。

4.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜设备，其中所述组偏转光学器件安置于加速衬套内。

5.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜设备，其中所述第一电光透镜安置于所述组偏转光学器件的下游。

6.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜设备，其中所述第一电光透镜包括：

静电透镜或磁性透镜中的至少一者。

7.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜设备，其中所述第一电子检测器保持于接地处。

8.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜设备，其中所述第一网状元件安置于所述第一电子检测器的下游且保持于与所述样本的表面电势相同的电势处。

9.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜设备，其中所述第二网状元件安置于所述第一网状元件的下游且保持于与所述样本的表面电势相同的电势处。

10.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜设备，其中所述第一网状元件包括平坦金属丝网。

11.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜设备，其中所述第二网状元件包括半球形金属丝网。

12.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜设备，其中所述能量过滤器包括半球形金属丝网。

13.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜设备，其中所述第一电子检测器或所述第二电子检测器中的至少一者包括：

多通道板检测器、固态检测器或闪烁器检测器中的至少一者。

14.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜设备，其中所述第一电子检测器或所述第二电子检测器中的至少一者分段为两个或两个以上片段。

15.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜设备，其中所述发射率分析器组合件经配置以在次级电子及反向散射电子成像模式中操作。

16.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜设备，其中所述发射率分析器组合件经配置以在反向散射电子及高纵横比电子成像模式中操作。