[发明专利]滑动部件

权利要求书

1.一种滑动部件，在一对滑动部件彼此相对滑动的至少一方侧的滑动面配置有多个凹坑，上述滑动部件的特征在于，

多个上述凹坑设置为相互与其它凹坑独立，并且以随机分布的方式配置，各个凹坑通过照射超短脉冲激光而形成，且是深度为0.05μm～5μm的范围的浅槽，上述凹坑的底面的粗糙度Ra为加工深度的1/10以下。

2.根据权利要求1所述的滑动部件，其特征在于，

加工部附近的因碎屑而引起的隆起小于0.01μm。

3.根据权利1或2所述的滑动部件，其特征在于，

多个上述凹坑的开口径设定于10～500μm的范围。

4.根据权利要求1～3任一项中所述的滑动部件，其特征在于，

多个上述凹坑的深度设定于50～10000nm的范围。

5.根据权利要求1～3任一项中所述的滑动部件，其特征在于，

多个上述凹坑的深度设定于50～1000nm的范围。

6.根据权利要求1～5任一项中所述的滑动部件，其特征在于，

多个上述凹坑相对于滑动面的面积率设定于30～50％的范围。

7.根据权利要求1～6任一项中所述的滑动部件，其特征在于，

上述超短脉冲激光的重复频率为5kHz以上。

8.根据权利要求1～7任一项中所述的滑动部件，其特征在于，

上述超短脉冲激光的脉冲宽度小于10皮秒。