[发明专利]光衰减装置

说明书

提供一种能够利用简便的结构使测量对象的光的一部分充分地衰减的光衰减装置。光衰减装置(100)具有采样棱镜(101)、双凹透镜(102)以及吸收构件(103)。分束构件使激光束(L)分束。放大构件对分束出来的激光束(L1)的形状进行放大。吸收构件对放大后的激光束(L2)的能量进行吸收。吸收构件的受光部(103a)接收放大后的激光束。吸收构件的第1流通部(103b)与受光部相邻，使对由于激光束而在受光部产生的热进行吸收的介质(冷却水(W))自第1开口部(103d)导入或导出并使该介质流通。吸收构件的第2流通部(103c)使经由与第1流通部连通的连通部(103e)而移动的冷却水自第2开口部(103f)导出或导入并使该冷却水流通。

技术领域

本发明涉及光衰减装置。

背景技术

以往以来，存在使激光束的强度衰减的装置(参照例如专利文献1。)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平10-326931号公报

发明内容

发明要解决的问题

在上述专利文献1那样的结构中，为了使激光束的一部分充分地衰减，除了设置光阻断部件、多个光分束部件等之外，还设置光吸收部件，使激光束的强度分散，因此，装置就变得大规模。

本发明是为了解决上述的问题而做成的，目的在于提供一种能够利用简便的结构使测量对象的光的一部分充分地衰减的光衰减装置。

用于解决问题的方案

达成上述目的的本发明的光衰减装置具有分束构件、放大构件以及吸收构件。分束构件对测量对象的光进行分束。放大构件对分束出来的光的形状进行放大。吸收构件对放大后的光的能量进行吸收。吸收构件具备受光部、第1流通部以及第2流通部。受光部接收放大后的光。第1流通部与受光部相邻，使对由于光而在受光部产生的热进行吸收的介质自第1开口部导入或导出并使该介质流通。第2流通部使经由与第1流通部连通的连通部而移动的介质自第2开口部导出或导入并使该介质流通。连通部形成于第1流通部和第2流通部彼此相邻的部分。介质从第1开口部导入而从第2开口部导出、或从第2开口部导入而从第1开口部导出。

另外，达成上述目的的本发明的光衰减装置具有分支构件、放大构件以及吸收构件。分束构件对计量对象的光进行分束。放大构件对分束出来的光的形状进行放大。吸收构件对放大后的光的能量进行吸收。吸收构件具备受光部、第1流通部以及第2流通部。受光部接收放大后的光。第1流通部与受光部相邻，使对由于光而在受光部产生的热进行吸收的介质自第1开口部导入或导出并使该介质流通。第2流通部使经由与第1流通部连通的连通部而移动的介质自第2开口部导出或导入并使该介质流通，使第1流通部和第2流通部相邻的部分以及受光部分别相对于水平方向倾斜。

附图说明

图1是表示装入有实施方式的光衰减装置的强度分布测定装置和激光振荡器的立体图。

图2是示意性地表示装入有光衰减装置的强度分布测定装置和激光振荡器的主要部分的图。

图3是表示装入有光衰减装置的强度分布测定装置和激光振荡器的框图。

图4是表示光衰减装置、强度分布测定装置的主要部分以及激光振荡器的框图。

图5是表示光衰减装置的立体图。

图6是以截面表示光衰减装置的立体图。

图7是表示光衰减装置中的光的衰减方法的示意图。