[发明专利]用于运行在线涂覆设备的方法和在线涂覆设备

权利要求书

1.一种用于运行在线涂覆设备的方法，该在线涂覆设备具有：

具有进料门(260)的进料室(220)，

连接至该进料室(220)的第一缓冲室(221)，该第一缓冲室能借助第一闸门(261)与该进料室(220)分隔开，

连接至该第一缓冲室(221)的加工室(235)，该加工室能借助第二闸门(264)与该第一缓冲室(221)分隔开，

连接至该加工室(235)的第二缓冲室(222)，该第二缓冲室能借助第三闸门(265)与该加工室(235)分隔开，

连接至该第二缓冲室(222)的且具有出料门(263)的出料室(240)，该出料室能借助第四闸门(262)与该第二缓冲室(222)分隔开，其中该进料室(220)、该第一缓冲室(221)、该第二缓冲室(222)及该出料室(240)被设计成用于容置直到预定尺寸为止的基板的模块，

其中为了涂覆，基板(200)从该进料室(220)经由该第一缓冲室(221)被输送至该加工室(235)并从该加工室(235)经由该第二缓冲室(222)被输送至该出料室(240)，

其中，该第一缓冲室(221)具有包括至少一个狭缝活门(221b)的缝隙闸门机构，在第一闸门(261)被打开或关闭时在该第一缓冲室(221)内借助该缝隙闸门机构调节在该第二闸门(264)区域内的压力与该第一闸门(261)区域内的压力之间的压力梯度，其特征是，在该进料门(260)打开且第一闸门(261)打开的情况下，通过连接至该第一缓冲室(221)的泵的运行在该第一缓冲室(221)内维持在该第二闸门(264)区域内的压力与该第一闸门(261)区域内的压力之间的压力梯度。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，为了涂覆小于所述模块的基板，

该第一闸门(261)被关闭，

该进料门(260)被打开，

一基板被送入该进料室(220)，

关闭该进料门(260)，

将该进料室(220)抽真空直至预定压力，

打开该第一闸门(261)，

将该基板送入该第一缓冲室(221)，其中在该第一缓冲室(221)内在该第二闸门(264)区域中调节出低于该进料室(220)内压力的压力，

再关闭该第一闸门(261)，

将该第一缓冲室(221)抽真空至传送压力并打开该第二闸门(264)，

将该基板送入该加工室(235)，

关闭该第二闸门(264)并在该加工室(235)中对该基板进行加工。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，为了涂覆大于所述模块的基板，

打开该进料门(260)和该第一闸门(261)，

将一基板送入该进料室(220)和该第一缓冲室(221)，其中在该第一缓冲室(221)中在该第二 闸门(264)区域内调节出低于该进料室(220)内压力的压力，

关闭该进料门(260)，

将该进料室(220)抽真空至预定压力，

在该第二闸门(264)区域中将该第一缓冲室(221)抽真空至传送压力，

打开该第二闸门(264)并将该基板(200)送入该加工室(235)以便在这里加工。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，在该基板(200)以其后边缘(200a)通过该第一闸门(261)且该后边缘(200a)尚未通过该第二闸门(264)后，关闭该第一闸门(261)。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，在该基板(200)以其后边缘(200a)通过该第二闸门(264)后，关闭该第二闸门(264)。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，在该基板(200)以其后边缘(200a)通过该第二闸门(264)后，打开该第一闸门(261)。

7.如前述权利要求1至6中任一项所述的方法，其特征在于，在该进料门(260)及该第一闸门(261)被打开时，也在该第一缓冲室(221)内在该第二闸门(264)区域中调节出低于大气压的压力。