[发明专利]用于硅基材的活化方法

权利要求书

1.一种用于活化硅基材的活化组合物，其中所述活化组合物为包含钯离子源和氟离子源的水溶液，其特征在于所述活化组合物包含至少两种选自芳族羧酸、芳族磺酸、芳族亚磺酸、芳族膦酸和芳族次膦酸的芳族酸，其中所述活化组合物具有7或更低的pH。

2.根据权利要求1所述的活化组合物，其中所述至少两种芳族酸选自芳族羧酸、芳族磺酸和芳族膦酸。

3.根据权利要求1或2所述的活化组合物，其中所述至少两种芳族酸选自根据式(I)至(II)的芳族酸

其中R¹至R¹⁴彼此独立选自氢、烷基、芳基、卤素基团、氨基、磺酸部分、羧酸部分、膦酸部分、硝基和羟基，条件是R¹至R¹⁴中的至少一者为磺酸部分、羧酸部分或膦酸部分。

4.根据权利要求3所述的活化组合物，其中条件是R¹至R¹⁴中的至少一者为磺酸部分。

5.根据权利要求3所述的活化组合物，其中条件是R¹至R¹⁴中的至少一者为羧酸部分。

6.根据权利要求3所述的活化组合物，其中所述至少两种芳族酸中的一者的条件是R¹至R¹⁴中的至少一者为磺酸部分，并且所述至少两种芳族酸中的另一者的条件是R¹至R¹⁴中的至少一者为羧酸部分。

7.根据权利要求1或2中任一项所述的活化组合物，其中所述至少两种芳族酸选自苯甲酸、1,2-苯二甲酸(邻苯二甲酸)、1,3-苯二甲酸(间苯二甲酸)、1,4-苯二甲酸(对苯二甲酸)、1,2,3-苯三甲酸(苯连三甲酸)、1,2,4-苯三甲酸、1,3,5-苯三甲酸、1,2,4,5-苯四甲酸、1,2,3,4,5-苯五甲酸、1,2,3,4,5,6-苯六甲酸、2-硝基苯甲酸、3-硝基苯甲酸、4-硝基苯甲酸、2,5-二硝基苯甲酸、2,6-二硝基苯甲酸、3,5-二硝基苯甲酸、2,4-二硝基苯甲酸、3,4-二硝基苯甲酸、2-氨基苯甲酸、3-氨基苯甲酸、4-氨基苯甲酸、3,4-二氨基苯甲酸、3,5-二氨基苯甲酸、2,3-氨基苯甲酸、2,4-二氨基苯甲酸、水杨酸、对甲苯磺酸、1-萘甲酸、2-萘甲酸、2,6-萘二甲酸、2-萘磺酸、5-氨基-1-萘磺酸、5-氨基-2-萘磺酸、7-氨基-4-羟基-2-萘磺酸和苯基膦酸。

8.根据权利要求1或2所述的活化组合物，其中所述至少两种芳族酸在所述活化组合物中的浓度在0.1mg/L至1000mg/L范围内。

9.根据权利要求1或2所述的活化组合物，其中所述至少两种芳族酸在所述活化组合物中的浓度在1mg/L至750mg/L范围内。

10.根据权利要求1或2所述的活化组合物，其中所述活化组合物包含甲烷磺酸和/或无机酸，所述甲烷磺酸和/或无机酸选自硫酸、盐酸、硝酸、磷酸、甲烷磺酸、氢溴酸、碘化氢、高氯酸、王水、亚氯酸、碘酸和亚硝酸。

11.一种用于活化至少一种硅基材的方法，所述方法依次包括以下步骤

(i)提供所述至少一种硅基材；

(ii)利用根据权利要求1至10中任一项所述的活化组合物活化所述至少一种硅基材的表面的至少一部分。

12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于所述硅基材包含由以下制成的表面：硅氧化物、多晶硅、p型掺杂的多晶硅、n型掺杂的多晶硅、氮化硅和氧氮化硅。

13.根据权利要求11或12中任一项所述的方法，其特征在于所述方法在步骤(ii)后包括另一步骤

(iii)在经活化的所述硅基材上无电镀敷金属或金属合金。