[发明专利]整合的混合NEMS质谱测定法

权利要求书

1.一种质谱仪装置，包括：

至少一个混合质谱仪，所述至少一个混合质谱仪包括：

离子源，所述离子源用于从样本产生离子，

第一质谱系统，所述第一质谱系统包括纳机电质谱NEMS-MS系统，

第二质谱系统，所述第二质谱系统包括适于根据带电粒子的质荷比来分离所述带电粒子的至少一个质量分析器，

整合区，所述整合区将所述第一质谱系统和所述第二质谱系统耦合，所述整合区包括至少一个定向设备，所述至少一个定向设备用于可控地将所述离子按规定路线发送到所述第一质谱系统和所述第二质谱系统中的选定的一个或两个以由其进行分析。

2.如权利要求1所述的装置，其中，所述整合区包括至少一个四极、至少一个孔以及至少一个静电透镜。

3.如权利要求2所述的装置，其中，所述整合区包括一个或更多个偏转器、中性物质过滤器或隔离阀。

4.如权利要求1所述的装置，其中，所述第一质谱系统和所述第二质谱系统使用具有至少一个涡轮泵的顺序级的差动泵浦被进一步整合。

5.如权利要求1-4中的任一项所述的装置，其中，所述第一质谱系统和所述第二质谱系统进一步与包括传递室和离子光学器件的系统接口整合。

6.如权利要求1-4中的任一项所述的装置，其中，所述第一质谱系统与所述第二质谱系统相比适于在更高的真空、更低的压力下操作。

7.如权利要求1-4中的任一项所述的装置，其中，所述第二质谱系统包括开放或封闭静电阱(EST)质谱系统、轨道类型的EST质谱系统、飞行时间(TOF)质谱系统、傅立叶变换离子回旋共振(FT ICR)质谱系统、四极质谱系统、离子阱质谱系统、磁性和电磁质谱系统、或其混合质谱系统。

8.如权利要求1-4中的任一项所述的装置，其中，所述第二质谱系统或所述整合区包括至少一个解离或碰撞池。

9.如权利要求1-4中的任一项所述的装置，其中，所述第二质谱系统或所述整合区包括至少一个表面诱导解离元件。

10.如权利要求1-4中的任一项所述的装置，其中，所述NEMS-MS系统包括至少一个芯片，所述至少一个芯片包括至少一个微机械和/或纳米机械谐振器。

11.如权利要求10所述的装置，其中，所述谐振器的适于接收离子束和样本的表面面向所述第二质谱系统。

12.如权利要求1-4中的任一项所述的装置，其中，所述NEMS-MS系统包括至少一个芯片，所述至少一个芯片包括多个微机械和/或纳米机械谐振器。

13.如权利要求1-4中的任一项所述的装置，其中，所述NEMS-MS系统包括至少一个制冷子系统，所述至少一个制冷子系统允许将所述NEMS-MS系统冷却到环境温度之下。

14.如权利要求5所述的装置，其中，所述NEMS-MS系统包括至少一个芯片，所述至少一个芯片包括至少一个微机械和/或纳米机械谐振器，所述至少一个微机械和/或纳米机械谐振器包括谐振器表面，所述谐振器表面适于使得当分析物被吸附到所述谐振器表面时避免分析物碎裂。

15.如权利要求10所述的装置，其中，所述至少一个微机械和/或纳米机械谐振器包括谐振器表面，所述谐振器表面适于使得当分析物被吸附到所述谐振器表面时避免分析物碎裂。

16.如权利要求10所述的装置，其中，所述至少一个微机械和/或纳米机械谐振器包括适于使分析物软着陆的谐振器表面。