[发明专利]用于试样的光片显微镜检测的方法和装置

权利要求书

1.一种光片显微镜，包括：

照明装置，其产生用于多个照明波长的相干照明光线，

光束成形模块(8)，其用于利用所述相干照明光线产生光片，

照明物镜(10)，其利用所述光片对试样(1)进行照明，

检测物镜(12)，其用于将由试样发射的光成像到扇形检测器上，其中所述检测物镜(12)的光轴与所述照明物镜(10)的光轴形成不同于0°和180°的角度，其特征在于，

光束成形模块(8)，其包括相位选择元件(19)，该相位选择元件(19)设置在中间像平面内或中间像平面的附近且设置有空间上彼此分离的多个选择区域(20)，其中一个选择区域(20)分别被分配给一个特定的照明波长，并且其中在每个选择区域(20)上施加预设为用于相应照明波长的相位分布，并且

所述光束成形模块(8)包括用于根据所述相应照明波长对所述选择区域(20)进行依序选择或同时选择的装置，其中用于所述选择区域(20)的选择的装置形成为将相应照明波长的光引导至所分配的选择区域(20)。

2.根据权利要求1所述的光片显微镜，其特征在于，作为组件的相位选择元件(19)由几个单独的元件组成，其中每个单独元件分别被分配给一个照明波长。

3.根据权利要求1或2所述的光片显微镜，其特征在于，用于选择区域(20)的依序选择的装置包括：光路选择元件，其设置在照明装置和相位选择元件(19)之间，所述光路选择元件用于根据照明波长将光偏转到相应的选择区域(20)；分段反射镜(24)，其由设置在相位选择元件(19)的下游的多个段(25)组成，并且其将入射光反射到相位选择元件(19)的分配给所述照明波长的选择区域(20)，其中一个段(25)分别被分配给一个照明波长；以及一个λ/4板(26)，其设置在分段反射镜(24)和相位选择元件(19)之间，其中相位选择元件(19)被设计为在第一偏振方向的情况下不改变光的相位，并且被设计为在垂直于第一偏振方向的第二偏振方向的情况下改变所述相位。

4.根据权利要求1或2所述的光片显微镜，其特征在于，用于选择区域(20)的同时选择的装置包括：至少一个选择性偏光元件，其设置在照明装置和相位选择元件(19)之间，其中每个选择性偏光元件分别被分配给一个照明波长并且被设置成将光引导到相应的选择区域(20)上；平面反射镜(40)，其设置在相位选择元件(19)的下游；和1/4λ板(26)，其设置在平面反射镜(40)和相位选择元件(19)之间，其中，相位选择元件(19)被设计成在第一偏振方向的情况下不改变光的相位，并且被设计为在垂直于第一偏振方向的第二偏振方向的情况下改变所述相位。

5.根据权利要求4所述的光片显微镜，其特征在于，施加在每个选择区域(20)上的是闪耀光栅，所述闪耀光栅被设计成在第二偏振方向的情况下改变光的反射角。

6.根据权利要求1或2所述的光片显微镜，其特征在于，用于选择区域(20)的同时选择的装置包括：至少一个选择性输入偏光元件，其设置在照明装置和相位选择元件(19)之间，其中每个选择性输入偏光元件分别被分配给一个照明波长并且被设置成将光引导到相应的选择区域(20)上；对于光束组合，所述用于选择区域(20)的同时选择的装置包括至少一个输出偏光元件，其设置在相位选择元件(19)的下游，其中每个输出偏光元件分别被分配给一个照明波长，并偏转来自相应的选择区域(20)的光。

7.根据权利要求6所述的光片显微镜，其特征在于，在相位选择元件(19)和输出偏光元件之间，设置补偿元件(45)以用于补偿各个照明波长的光路之间的路径长度之差。

8.根据权利要求1所述的光片显微镜，其特征在于，用于选择区域(20)的选择的装置包括至少一个二向色分束元件，其设置在照明装置和相位选择元件(19)之间以用于将入射光分成至少一个反射的部分光束和一个透射的部分光束。