[发明专利]三极管型电离真空计有效

专利信息
申请号: 201680017058.4 申请日: 2016-02-10
公开(公告)号: CN107407612B 公开(公告)日: 2020-11-03
发明(设计)人: 宫下刚;中岛丰昭;福原万沙洋 申请(专利权)人: 株式会社爱发科
主分类号: G01L21/32 分类号: G01L21/32;H01H41/04
代理公司: 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 代理人: 齐永红
地址: 日本神*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 三极管 电离 真空计
【权利要求书】:

1.一种三极管型电离真空计,是安装在测量对象物上检测其内部压力的三极管型电离真空计,其具有:

灯丝;配置在灯丝周围的具有筒状轮廓的栅极;在栅极周围同心配置的筒状离子收集器;给灯丝通直流电使灯丝红热的灯丝发光用电源;施加给栅极高于灯丝电位的栅极用电源;以及使灯丝电位高于离子收集器电位的电源;给灯丝的供给电力设置在4W以下;所述三极管型电离真空计,其特征在于:

控制给灯丝通直流电的灯丝发光用电源控制灯丝和栅极之间的发射电流在2mA~10mA的范围内。

2.根据权利要求1所述的三极管型电离真空计,其特征在于:

所述灯丝、所述栅极,以及所述离子收集器收纳在金属制成的真空隔壁内。

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