[发明专利]用于将高度柔性衬底接合至载体的方法以及由此形成的产品

权利要求书

1.一种方法，包括：

提供由材料板形成的载体衬底，所述载体衬底具有X轴上的长度尺寸、Y轴上的宽度尺寸、以及Z轴上的厚度尺寸，其中，所述X轴和所述Y轴限定X-Y平面；

提供由材料板形成的柔性衬底，所述柔性衬底具有所述X轴上的长度尺寸、所述Y轴上的宽度尺寸、以及所述Z轴上的厚度尺寸；

对所述载体衬底施加应力和使其产生应变中的至少一种以便沿着所述Z轴在第一方向上引起向X-Y平面外的弯曲；

在维持对所述载体衬底施加应力和使其产生应变中的所述至少一种的同时，将所述柔性衬底定位在所述载体衬底之上；以及

在所述柔性衬底与所述载体衬底之间引起接合，其中，所述接合在开始区域启动，并且此后，接合正面从所述开始区域传播所述接合，直到所述柔性衬底接合至所述载体衬底，

其中，所述接合正面的特性趋于使所接合的柔性衬底和所述载体衬底沿着所述Z轴在与所述第一方向相反的第二方向上向X-Y平面外弯曲。

2.如权利要求1所述的方法，其中，施加应力和使产生应变中的所述至少一种包括圆柱形地机械弯曲所述载体衬底。

3.如权利要求2所述的方法，其中：

施加应力和使产生应变中的所述至少一种包括围绕在所述Z轴方向上远离所述X-Y平面间隔开并且平行于所述Y轴的轴机械地弯曲所述载体衬底，以引起所述弯曲；并且

所述弯曲由从所述轴到所述载体衬底的曲率半径表征，从而使得所述向X-Y平面外的弯曲沿着所述Z轴在所述第一方向上。

4.如权利要求3所述的方法，其中：

所述开始区域沿着平行于所述Y轴的线基本上线性地延伸；

所述接合正面沿着平行于所述Y轴的线基本上线性地延伸；

所述接合正面远离所述开始区域且在横向于所述Y轴的方向上传播。

5.如权利要求4所述的方法，其中，所述接合正面传播的所述方向平行于所述X轴。

6.如权利要求3所述的方法，其中，所述开始区域通过沿着线性延伸区将所述柔性衬底朝所述载体衬底按压并且按压成与所述载体衬底接触而引起。

7.如权利要求6所述的方法，其中，所述线性延伸区通过经由以下各项中的至少一项抵靠所述柔性衬底进行按压来获得：(i)弹簧片偏转元件；(ii)摇杆按压件；(iii)多点线性按压件；(iv)一个或多个空气喷射流；(v)一个或多个空气轴承；以及(vi)一个或多个超声波轴承。

8.如权利要求1所述的方法，其中，施加应力和使产生应变中的所述至少一种包括将所述载体衬底机械地弯曲成圆顶形状。

9.如权利要求8所述的方法，其中：

施加应力和使产生应变中的所述至少一种包括在引起所述接合以及传播所述接合正面之前和期间将所述柔性衬底和所述载体衬底中的至少一个加热至不同温度；并且

在实现所述接合之后允许所述柔性衬底和所述载体衬底达到热平衡。

10.如权利要求9所述的方法，其中：

所述开始区域基本上是圆形区域或中心点；并且所述接合正面从所述开始区域基本上径向地向外延伸。

11.如权利要求10所述的方法，其中，所述开始区域通过在所述基本上中心点处将所述柔性衬底朝所述载体衬底按压并且按压成与所述载体衬底接触而引起。

12.如权利要求1至11中任一项所述的方法，其中，所述柔性衬底由玻璃形成。

13.如权利要求1至12中任一项所述的方法，其中，所述柔性衬底具有以下各项中之一的厚度：(i)从约50um到约300um，以及(ii)从约100um到约200um。

14.如权利要求1至13中任一项所述的方法，其中，所述柔性衬底具有以下各项中的至少一项：约2.3g/cc至2.5g/cc的密度、约70GPa至80GPa的杨氏模量、约0.20至0.25的泊松比、以及约185mm至370mm的最小弯曲半径。

15.如权利要求1至14中任一项所述的方法，其中，所述载体衬底由玻璃形成。

16.如权利要求1至15中任一项所述的方法，其中，所述载体衬底具有至少约400um到约1000um之一的厚度。