[发明专利]隔膜阀

说明书

本发明提供一种通过着眼于隔膜压具的按压面的曲率半径与隔膜的曲率半径的比，来实现隔膜的耐久性的提高的隔膜阀。将隔膜(5)的曲率半径记为SRa，将隔膜压具(6)的按压面的曲率半径记为SRb，则SRb/SRa＝0.4～0.6。

技术领域

本发明涉及一种隔膜阀，尤其是称为直接接触型的隔膜阀。

背景技术

作为隔膜阀，在专利文献1中公开了一种隔膜阀，其具备：设置有流体通道的阀箱、设置在流体通道的周缘的环状的阀座、按压或离开阀座而开闭流体通道的球面状的金属制隔膜、在下端具有球面状的按压面而按压隔膜的隔膜压具、以及使隔膜上下移动的执行器。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本实用新型公开平2-29361号公报

发明内容

(一)要解决的技术问题

在重复开闭操作的直接接触型隔膜阀中，隔膜的耐久性的提高是重要的课题，在专利文献1中，通过选择合适的隔膜的形状以及支承隔膜的外周缘部的部分的形状，而实现了隔膜的耐久性的提高。

然而，以往没有考虑过隔膜压具的按压面的曲率半径与隔膜的曲率半径的关系。

本发明的目的在于，提供一种通过着眼于隔膜压具的按压面的曲率半径与隔膜的曲率半径的比，来实现隔膜的耐久性的提高的隔膜阀。

(二)技术方案

本发明的隔膜阀具备：设置有流体通道的阀箱、设置在流体通道的周缘的阀座、按压或离开阀座而开闭流体通道的球面状的隔膜、在下端具有球面状的按压面而按压隔膜的隔膜压具、以及使隔膜上下移动的执行器，将隔膜的曲率半径记为SRa，将隔膜压具的按压面的曲率半径记为SRb，则SRb/SRa＝0.4～0.6。

以往，对于隔膜以及隔膜压具，是按照首先优化隔膜的曲率半径，接着将隔膜压具的按压面的曲率半径设定为与隔膜的曲率半径相同或比其略小的值的顺序，来设定各自的曲率半径。

本发明通过以往未考虑的SRb/SRa(隔膜压具的按压面的曲率半径/隔膜的曲率半径)，来明确在隔膜上产生的应力的变动，同时获得了0.4～0.6作为SRb/SRa的最优值。

该隔膜阀适于用作主要在半导体制造设备的气体供给系统等中使用的直接接触型的金属隔膜阀。

隔膜为金属制且上凸的圆弧状呈自然状态的球壳状。隔膜也可以是由多层构成的层叠型。隔膜的曲率半径是指内面(多层的情况下为最下层(接液侧)的内面)的曲率半径。

阀座可以与阀箱一体地设置，也可以是与阀箱分开的部件。

隔膜阀可以是上下移动工具为开闭手柄等的手动阀，也可以是上下移动工具为适当的执行器的自动阀，在自动阀的情况下，执行器可以是利用流体(空气)压力的类型，也可以是利用电磁力的类型。

此外，虽然在本说明书中将隔膜阀的阀杆的移动方向称为上下方向，但是该方向是为了方便起见而设定的，而上下方向在实际安装中则不仅可以是垂直方向，有时也可以是水平方向。

(三)有益效果

根据本发明的隔膜阀，通过使隔膜压具的按压面的曲率半径SRb/隔膜的曲率半径SRa＝0.4～0.6，应力被均匀化，由此，来防止在隔膜上局部性地作用过大的应力，从而大幅提高隔膜的耐久性。

附图说明

图1是表示本发明的隔膜阀的整体结构的纵截面图。

图2是表示本发明的隔膜阀的特征部分的放大纵截面图。

图3是表示SRb/SRa小于0.4时的解析结果的图。