[发明专利]物品的支承装置以及支承方法

说明书

本发明对高度不同的多个物品进行定位并防止掉落，并且不使尺寸高度较高的物品对尺寸高度较低的物品的防掉造成障碍。支承装置(4)具备：第一掉落防止部件(44)，其位于第一物品(52)的上方，防止第一物品上升而使得定位被解除；以及第二掉落防止部件(46)，其位于第二物品(64)的上方，防止第二物品上升而使得定位被解除。使第一物品的第一及第二掉落防止部件(44、46)侧的端部与第二物品的第一及第二掉落防止部件(44、46)侧的端部相同，或者使第一物品的第一及第二掉落防止部件(44、46)侧的端部比第二物品的第一及第二掉落防止部件(44、46)侧的端部更靠近第一及第二掉落防止部件侧。在第一定位部件(12、16)对第一物品进行定位时，第二掉落防止部件从第一物品的所述端部退避。

技术领域

本发明涉及物品的支承装置以及支承方法。

背景技术

专利文献1(JP4543567B)公开了一种具备掉落防止部件的平面多关节型机器人(Selective Compliance Assembly Robot Arm；SCARA)。掉落防止部件安装于平面多关节型机器人的臂，并前进至移载对象的FOUP的上部而防止其掉落。然而，如300mm晶圆用的FOUP与450mm晶圆用的FOUP那样，要求利用支承装置对尺寸高度不同的两种物品进行支承。然而，对于JP4543567B的平面多关节型机器人而言，难以同时支承两种物品并且同时防止掉落。

专利文献1:JP4543567B

发明内容

本发明的课题在于对高度不同的多个物品进行定位并防止掉落和翻倒，并且使得尺寸高度较高的物品不对防止尺寸高度较低的物品的掉落造成障碍。

本发明的物品的支承装置对第一物品和高度比第一物品的高度低的第二物品进行支承，

具备支承部，该支承部具有对第一物品的底部进行定位并禁止第一物品的水平移动的第一定位部件、以及对第二物品的底部进行定位并禁止第二物品的水平移动的第二定位部件，

第一定位部件与第二定位部件均构成为：因第一物品或者第二物品向支承部下降而进行定位，并且若上述第一物品或者上述第二物品上升则解除定位，

上述支承装置还具备：

第一掉落防止部件，其在上述第一定位部件对第一物品进行定位时，位于第一物品的上方，防止第一物品上升而使得定位被解除；以及

第二掉落防止部件，其在上述第二定位部件对第二物品进行定位时，位于第二物品的上方，防止第二物品上升而使得定位被解除，

上述第一定位部件位于比上述第二定位部件高的位置，

上述第一掉落防止部件以及上述第二掉落防止部件在俯视观察时相对于上述支承部位于相同的一侧，

上述第一定位部件与上述第二定位部件构成为：使第一物品的上述第一掉落防止部件以及上述第二掉落防止部件侧的端部定位于与第二物品的上述第一掉落防止部件以及上述第二掉落防止部件侧的端部相同的位置，或者使第一物品的上述第一掉落防止部件以及上述第二掉落防止部件侧的端部定位于比第二物品的上述第一掉落防止部件以及上述第二掉落防止部件侧的端部更靠近上述第一掉落防止部件以及上述第二掉落防止部件侧的位置，

上述物品的支承装置构成为：在上述第一定位部件对第一物品进行定位时，上述第二掉落防止部件从第一物品的上述端部退避。

本发明的物品的支承方法利用支承装置对第一物品和高度比第一物品的高度低的第二物品进行支承，

利用支承部的第一定位部件对第一物品的底部进行定位，禁止第一物品的水平移动，并且若第一物品上升则解除定位，

利用支承部的第二定位部件对第二物品的底部进行定位，禁止第二物品的水平移动，并且若第二物品上升则解除定位，