[发明专利]光纤用多孔质玻璃母材的制造方法

说明书

本发明提供光纤用多孔质玻璃母材的制造方法，使玻璃微粒合成用的燃烧器与旋转的靶棒相对地往复移动，同时使通过向所述燃烧器供给玻璃原料气体和燃烧气体而合成的玻璃微粒堆积于所述靶棒的外周，其中，在对将制造的光纤用多孔质玻璃母材的最终外径设为L[mm]、将制造中途的玻璃微粒堆积体的外径设为R[mm]时成为0.5L≤R≤0.8L的部分的玻璃微粒堆积层进行合成之际，在将所述靶棒的旋转速度设为r[rpm]、将所述靶棒与所述燃烧器的相对移动速度设为V[mm/min.]时，使由V/r表示的燃烧器的扫描间距P[mm]的变动为中心值的±10％的范围以内，同时使所述V以及所述r逐渐地降低。

技术领域

本发明涉及光纤用多孔质玻璃母材的制造方法。

背景技术

近年来，为了提高光纤的生产性，光纤用玻璃母材的大型化不断发展。光纤用玻璃母材通过如下公知的制造方法来制造：在该制造方法中，在通过VAD(Vapor phase AxialDeposition)法或MCVD(Modified Chemical Vapor Deposition)法、等离子体法等制成的包含传播光的纤芯在内的靶棒(target rod)上，利用OVD(Outside Vapor phaseDeposition)法或RIT(Rod In Tube)法等来制作包层部分等。在此，在包层部分的制作中使用OVD法的情况下，对于光纤用多孔质玻璃母材的大型化而言，存在长条化和粗径化这两种方法。

但是，当进行光纤用多孔质玻璃母材的长条化时，使制造装置大型化，在设置空间和设备成本这一方面受到制约，另外，制造出的光纤用多孔质玻璃母材也难以处理。因此，对于光纤用多孔质玻璃母材的大型化而言，尽可能通过粗径化来应对。另外，由于现有的设备尺寸等的制约，在通过OVD法制造的光纤用多孔质玻璃母材的粗径化中自然而然地存在极限。作为考虑到这些各种制约条件而实现光纤用多孔质玻璃母材的大型化的方法，存在提高所堆积的玻璃微粒的密度的方法。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平10-114535号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，当提高所堆积的玻璃微粒的密度时，存在容易产生堆积物呈多瘤状地在光纤用多孔质玻璃母材的堆积面上鼓起的部分(以下仅称为“瘤缺陷”)这一现象。该瘤缺陷具有如下性质：当在堆积玻璃微粒的中途暂时产生时，会逐渐地成长得较大，有时导致光纤用多孔质玻璃母材不合格。另外，在瘤缺陷产生于光纤用多孔质玻璃母材的端部的情况下，即便不会使光纤用多孔质玻璃母材整体不合格，也需要去除产生了瘤缺陷的部分，因此，导致能够用作产品的区域减少。对此，为了避免成品率恶化，有时不得不抑制堆积于光纤用多孔质玻璃母材的玻璃微粒的密度。

此外，即便在将堆积于光纤用多孔质玻璃母材的玻璃微粒的密度保持为固定的状况下，根据制造条件的不同，也存在产生瘤缺陷的情况和不产生瘤缺陷的情况。另外，已知当制造中的光纤用多孔质玻璃母材的温度过度上升时，容易产生瘤缺陷(例如参照专利文献1)，但即便在将制造中的光纤用多孔质玻璃母材的温度保持为固定的状况下，根据制造条件的不同，也存在产生瘤缺陷的情况和不产生瘤缺陷的情况。这样，由于瘤缺陷的产生条件不明确，因此，不得不将堆积于光纤用多孔质玻璃母材的玻璃微粒的密度抑制为必要以上。

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种能够抑制在堆积面上产生瘤缺陷的光纤用多孔质玻璃母材的制造方法。

用于解决课题的手段